[發(fā)明專利]反應(yīng)腔室蓋板及具有該蓋板的反應(yīng)腔室

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110285858.3
• 申請(qǐng)日: 2011-09-23
• 公開（公告）號(hào): CN102315145A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 昝威;吳儀;張曉紅;裴立坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種反應(yīng)腔室蓋板及具有該蓋板的反應(yīng)腔室。

背景技術(shù)

在進(jìn)行半導(dǎo)體工藝時(shí)，機(jī)械手向反應(yīng)腔室中傳送晶片或從反應(yīng)腔室中取出晶片都需要通過能夠自動(dòng)開啟或關(guān)閉的門的結(jié)構(gòu)。在過去的半導(dǎo)體設(shè)備中，以往的自動(dòng)開啟或關(guān)閉的門的結(jié)構(gòu)由氣缸來(lái)驅(qū)動(dòng)。由于傳片門板上下的移動(dòng)主要通過門板兩邊固定著的導(dǎo)軌，因此，在安裝時(shí)，兩邊導(dǎo)軌的平行度要求很高。而在采用氣缸傳動(dòng)時(shí)，就需要對(duì)氣缸活塞桿與導(dǎo)軌的平行度要求很高，這樣就加大了安裝時(shí)的難度。如果導(dǎo)軌與氣缸活塞桿的平行度誤差比較大，傳片門在開啟過關(guān)閉的過程中會(huì)卡死，不僅會(huì)損害機(jī)械手，還會(huì)造成反應(yīng)腔室中的晶片受到污染，嚴(yán)重影響工藝效果。而在采用氣缸時(shí)，也需要給氣缸提供具有一定純凈度的壓縮空氣，這樣就增加了設(shè)備介質(zhì)使用的復(fù)雜度。如果使用的壓縮空氣純凈度不高，不僅會(huì)減少氣缸的使用壽命，也會(huì)給設(shè)備內(nèi)部微環(huán)境帶來(lái)危害，使清洗過的晶片再次被污染。

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的目的是提供一種簡(jiǎn)單易行、可靠的機(jī)械手傳片門自動(dòng)開啟與關(guān)閉的反應(yīng)腔室蓋板及具有該蓋板的反應(yīng)腔室。

(二)技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種反應(yīng)腔室蓋板，包括：反應(yīng)腔室隔板、傳片門板、連桿機(jī)構(gòu)以及電機(jī)；所述反應(yīng)腔室隔板設(shè)于反應(yīng)腔室上部，并開有對(duì)應(yīng)于反應(yīng)腔室入口的方孔；所述傳片門板可在所述反應(yīng)腔室隔板上運(yùn)動(dòng)；所述連桿機(jī)構(gòu)包括至少一根連桿；所述傳片門板、連桿機(jī)構(gòu)、電機(jī)依次連接，連桿機(jī)構(gòu)能夠在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)傳片門板運(yùn)動(dòng)，以將反應(yīng)腔室隔板上的方孔打開或關(guān)閉。

優(yōu)選地，所述反應(yīng)腔室隔板的方孔兩側(cè)設(shè)有門板導(dǎo)軌，傳片門板兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌滑塊，傳片門板通過導(dǎo)軌滑塊在所述門板導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述門板導(dǎo)軌的長(zhǎng)度根據(jù)傳片門板運(yùn)動(dòng)的距離而定。

優(yōu)選地，所述傳片門板的大小根據(jù)反應(yīng)腔室隔板的方孔的尺寸而定。

優(yōu)選地，該反應(yīng)腔室為半導(dǎo)體反應(yīng)腔室，通過機(jī)械手傳取晶片，所述方孔的尺寸根據(jù)機(jī)械手的尺寸與晶片的尺寸而定。

優(yōu)選地，所述連桿機(jī)構(gòu)為雙連桿機(jī)構(gòu)，包括第一連桿和第二連桿，傳片門板與第一連桿連接，第一連桿與第二連桿通過轉(zhuǎn)軸連接，并且兩根連桿可繞轉(zhuǎn)軸相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿與電機(jī)連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)傳片門板在反應(yīng)腔室隔板上移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述連桿機(jī)構(gòu)為四連桿機(jī)構(gòu)，包括兩根第一連桿、第二連桿和第三連桿，傳片門板與兩根相同的第一連桿連接，這兩根第一連桿與第三連桿的兩端通過轉(zhuǎn)軸連接，并且兩根第一連桿可繞轉(zhuǎn)軸與第三連桿相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿與第三連桿通過第三連桿中間的轉(zhuǎn)軸連接，通過轉(zhuǎn)軸，第二連桿和第三連桿可相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)；第二連桿與電機(jī)連接，當(dāng)電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)第二連桿一起轉(zhuǎn)動(dòng)，第二連桿、第三連桿和兩根第一連桿組成連桿機(jī)構(gòu)，從而帶動(dòng)傳片門板在反應(yīng)腔室隔板上移動(dòng)。

本發(fā)明還提供一種上述反應(yīng)腔室蓋板的反應(yīng)腔室，還包括：腔體，所述反應(yīng)腔室蓋板用于將腔室所處環(huán)境與外界環(huán)境隔離開來(lái)。

優(yōu)選地，該反應(yīng)腔室為半導(dǎo)體反應(yīng)腔室。

(三)有益效果

1、采用連桿機(jī)構(gòu)傳動(dòng)傳片門，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易行，較容易控制開啟的高度。

2、使用電機(jī)驅(qū)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu)來(lái)控制傳片門的開關(guān)，較為容易控制，與采用氣缸傳動(dòng)相比，可節(jié)省氣缸氣源。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明中反應(yīng)腔室隔板的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本發(fā)明采用兩根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本發(fā)明采用兩根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部開啟時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；

圖4為本發(fā)明采用兩根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部關(guān)閉時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；

圖5為本發(fā)明采用四根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；

圖6為本發(fā)明采用四根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部開啟時(shí)的結(jié)構(gòu)圖；

圖7為本發(fā)明采用四根連桿機(jī)構(gòu)時(shí)傳片門全部關(guān)閉時(shí)的結(jié)構(gòu)圖。

其中，1：反應(yīng)腔室隔板；2：方孔；3：門板導(dǎo)軌；4：傳片門板；5：導(dǎo)軌滑塊；6：第一連桿；7：第二連桿；8：第三連桿；9：電機(jī)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不是限制本發(fā)明的范圍。