[發(fā)明專利]用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管及相應的真空泵

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110285412.0
• 申請日: 2011-09-23
• 公開（公告）號: CN102304702A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發(fā)明（設計）人: 陳鵬
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 歐陽啟明

1.一種用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管，其兩端分別與所述真空泵的出口端以及廢氣處理機連接，其特征在于，在所述排氣管中設置有緊貼所述排氣管內壁的防粘內襯管。

2.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管，其特征在于，所述防粘內襯管的材料為聚四氟乙烯。

3.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管，其特征在于，所述防粘內襯管設置在所述真空泵的出口端與所述排氣管的連接處。

4.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管，其特征在于，所述防粘內襯管設置在所述廢氣處理機與所述排氣管的連接處。

5.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管，其特征在于，所述防粘內襯管同時設置在所述真空泵的出口端與所述排氣管的連接處，以及所述廢氣處理機與所述排氣管的連接處。

6.根據權利要求3-5中任一所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管，其特征在于，所述排氣管在未設置所述防粘內襯管的相應部位的外表面設置有加熱帶。

7.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵的排氣管，其特征在于，所述防粘內襯管設置在整個所述排氣管的內壁。

8.一種用于化學氣相沉積機臺的真空泵，其兩端分別與所述化學氣相沉積機臺的排氣口以及廢氣處理機連接，所述真空泵包括與所述廢氣處理機連接的排氣管，其特征在于，在所述排氣管中設置有緊貼所述排氣管內壁的防粘內襯管，所述防粘內襯管的材料為聚四氟乙烯。

9.根據權利要求8所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵，其特征在于，所述防粘內襯管設置在所述真空泵的出口端與所述排氣管的連接處和/或所述廢氣處理機與所述排氣管的連接處。

10.根據權利要求8所述的用于化學氣相沉積機臺的真空泵，其特征在于，所述防粘內襯管設置在整個所述排氣管的內壁。