[發明專利]壓電裝置及壓電裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201110280541.0
• 申請日: 2011-09-20
• 公開（公告）號: CN102457249A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發明（設計）人: 水沢周一;高橋岳寬
• 申請（專利權）人: 日本電波工業株式會社
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19;H03H3/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;王申

1.一種壓電裝置，其特征在于，具備：

具有形成在兩主面的一對勵振電極以及從所述一對勵振電極引出的一對引出電極的壓電振動片；以及

具有形成在所述壓電振動片一側的第1面并與所述一對引出電極連接的一對連接電極以及形成在所述第1面的相反側的第2面的兩對實裝端子，并且從上所述第1面觀察具有四個邊的四邊形的底部，

在所述底部的相互對向的兩邊上形成向所述底部的中心側洼進的兩對側槽以及在所述兩對側槽上連結所述第1面和所述第2面的兩對側面電極，

所述兩對側面電極中的一對分別與所述一對連接電極以及所述兩對實裝端子中的一對連接。

2.根據權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于，

所述兩對實裝端子包含與外部通電的一對外部電極以及用于接地的一對接地電極，

所述一對外部電極以及所述一對接地電極相互配置在所述第2面的對角線上。

3.根據權利要求1所述的壓電裝置，其特征在于，

所述兩對實裝端子包含與外部通電的一對外部電極以及用于接地的一對接地電極，

所述一對外部電極形成在所述兩邊中的一側，所述一對接地電極形成在所述兩邊中的另一側。

4.根據權利要求1至3的任意一項所述的壓電裝置，其特征在于，

所述底部具有從所述第1面凹進的凹部，

所述壓電振動片以所述一對引出電極與所述一對連接電極連接的方式利用導電性粘接劑配置在所述底部上。

5.根據權利要求4所述的壓電裝置，其特征在于，

具備接合在所述底部的所述第1面上的所述四邊形的蓋部，

所述蓋部與所述底部由封裝材料進行接合。

6.根據權利要求1至3的任意一項所述的壓電裝置，其特征在于，

所述壓電振動片具有形成所述一對勵振電極的振動部以及形成所述引出電極且包圍所述振動部的所述四邊形的框體，

所述壓電振動片以所述一對引出電極與所述一對連接電極連接的方式進行配置。

7.根據權利要求6所述的壓電裝置，其特征在于，

具備接合在所述框體的一側的主面上的蓋部，

所述蓋部與所述框體的一側的主面由封裝材料進行接合，所述框體的另一側的主面與所述底部由封裝材料進行接合。

8.根據權利要求1至7的任意一項所述的壓電裝置，其特征在于，

連結所述第1面與所述第2面的所述側槽的側面的剖面具有從所述第1面至所述第2面的中央部向外側突出的突出部。

9.一種壓電裝置的制造方法，該壓電裝置具有兩對實裝端子，其特征在于，具備：

準備壓電振動片的壓電振動片的準備工序，該壓電振動片具有形成在兩主面的一對勵振電極以及從所述一對勵振電極引出的一對引出電極；

準備底部晶片的底部晶片的準備工序，該底部晶片包含具有第1面及所述第1面的相反側的第2面的四邊形的第1底部及第2底部且在相鄰的所述第1底部與所述第2底部的共有的一邊上形成有從所述第1面貫通至所述第2面的一對貫通孔；

電極形成工序，在所述底部晶片的所述一對貫通孔的側面形成一對側面電極，在所述第2面的所述一對貫通的的周圍形成所述第1底部的所述實裝端子及所述第2底部的所述實裝端子；

放置工序，以所述壓電振動片的所述一對引出電極與所述第1底部的所述實裝端子及所述第2底部的所述實裝端子連接的方式，將所述壓電振動片配置在所述第1底部及所述第2底部上；以及

第1測定工序，通過實裝端子測定放置在所述第1底部上的所述壓電振動片的頻率及放置在所述第2底部上的所述壓電振動片的頻率，

所述兩對實裝端子包含與外部導通的一對外部電極以及用于接地的一對接地電極，

所述電極形成工序，在所述一對側面電極中的一側形成所述第1底部的所述外部電極與所述第2底部的所述接地電極，在所述一對側面電極中的另一側形成所述第1底部的所述接地電極與所述第2底部的所述外部電極。