[發明專利]壓電裝置及壓電裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201110280541.0
• 申請日: 2011-09-20
• 公開（公告）號: CN102457249A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發明（設計）人: 水沢周一;高橋岳寬
• 申請（專利權）人: 日本電波工業株式會社
• 主分類號: H03H9/19
• 分類號: H03H9/19;H03H3/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;王申

技術領域

本發明涉及能夠以晶片狀態制造多個蓋部及底部的壓電裝置及壓電裝置的制造方法。

背景技術

表面實裝用的壓電裝置最好能夠一次性地大量進行制造。專利文獻1(日本特開2006-148758號公報)所示的壓電裝置，將形成有多個水晶振動片的水晶晶片夾持在與水晶晶片相同形狀的蓋部晶片與底部晶片之間進行制造。另外，在專利文獻1的壓電裝置的制造方法中，通過在蓋部晶片及底部晶片上形成開口部，在壓電裝置的四角上形成電連接水晶振動片的勵振電極與外部電極的側部配線。將以晶片為單位進行制造的壓電裝置分離成單體而完成制造。

但是，專利文獻1的壓電裝置的制造方法，由于在蓋部晶片及底部晶片的開口部上同時形成側部配線，因此晶片上的相鄰的壓電裝置通過形成在開口部上的側部配線而相互連接。因此，若對于以晶片為單位進行制造的多個壓電振動片中的一個壓電振動片，抵接頻率測定用的探針，則會受到相鄰的壓電振動片的影響。即，在公開于專利文獻1中的壓電裝置或其制造方法中，不能分別對以晶片為單位進行制造的多個壓電振動片的一個一個的壓電振動片的頻率進行測定并調整。因此，只能在將一個壓電振動片從晶片中分離成單體后測定頻率。

在以晶片為單位制造壓電裝置時，希望以晶片為單位測定壓電振動片的頻率，以晶片為單位調整壓電振動片的頻率后，將壓電裝置分離為單體而實?現其量產性。

發明內容

因此，本發明的目的在于提供一種不受相鄰的壓電裝置的影響，能夠對形成于晶片上的多個壓電裝置的頻率進行測定并調整的壓電裝置及壓電裝置的制造方法。

第1觀點的壓電裝置，具備：具有形成在兩主面的一對勵振電極以及從一對勵振電極引出的一對引出電極的壓電振動片；以及具有形成在壓電振動片一側的第1面并與一對引出電極連接的一對連接電極以及形成在第1面的相反側的第2面的兩對實裝端子，并且從上第1面觀察具有四個邊的四邊形的底部。在底部的相互對向的兩邊上形成向底部的中心側洼進的兩對側槽以及在兩對側槽上連結第1面和第2面的兩對側面電極。另外，兩對側面電極中的一對分別與一對連接電極以及兩對實裝端子中的一對連接。

第2觀點的壓電裝置，兩對實裝端子包含與外部通電的一對外部電極以及用于接地的一對接地電極，一對外部電極以及一對接地電極相互配置在第2面的對角線上。

第3觀點的壓電裝置，兩對實裝端子包含與外部通電的一對外部電極以及用于接地的一對接地電極，一對外部電極形成在兩邊中的一側，一對接地電極形成在兩邊中的另一側。

第4觀點的壓電裝置，底部具有從第1面凹進的凹部，壓電振動片以一對引出電極與一對連接電極連接的方式利用導電性粘接劑配置在底部上。

第5觀點的壓電裝置，具備接合在底部的第1面上的四邊形的蓋部，蓋部與底部由封裝材料進行接合。

第6觀點的壓電裝置，壓電振動片具有形成一對勵振電極的振動部以及形成引出電極且包圍振動部的四邊形的框體，壓電振動片以一對引出電極與一對連接電極連接的方式進行配置。

第7觀點的壓電裝置，具備接合在框體的一側的主面上的蓋部，蓋部與框體的一側的主面由封裝材料進行接合，框體的另一側的主面與底部由封裝材料進行接合。

第8觀點的壓電裝置，連結第1面與第2面的側槽的側面的剖面具有從第1面至第2面的中央部向外側突出的突出部。

第9觀點的壓電裝置的制造方法是具有兩對實裝端子的壓電裝置的制造方法。該壓電裝置的制造方法具備：準備壓電振動片的壓電振動片的準備工序，該壓電振動片具有形成在兩主面的一對勵振電極以及從一對勵振電極引出的一對引出電極；準備底部晶片的底部晶片的準備工序，該底部晶片包含具有第1面及第1面的相反側的第2面的四邊形的第1底部及第2底部且在相鄰的第1底部與第2底部的共有的一邊上形成有從第1面貫通至第2面的一對貫通孔；電極形成工序，在底部晶片的一對貫通孔的側面形成一對側面電極，在第2面的一對貫通的的周圍形成第1底部的實裝端子及第2底部的實裝端子；放置工序，以壓電振動片的一對引出電極與第1底部的實裝端子及第2底部的實裝端子連接的方式，將壓電振動片配置在第1底部及第2底部上；以及第1測定工序，通過實裝端子測定放置在第1底部上的壓電振動片的頻率及放置在第2底部上的壓電振動片的頻率。兩對實裝端子包含與外部導通的一對外部電極以及用于接地的一對接地電極，電極形成工序，在一對側面電極中的一側形成第1底部的外部電極與第2底部的接地電極，在一對側面電極中的另一側形成第1底部的接地電極與第2底部的外部電極。