[發明專利]有機發光二極管顯示器及其制造方法有效
| 申請號: | 201110280400.9 | 申請日: | 2011-09-20 |
| 公開(公告)號: | CN102412258A | 公開(公告)日: | 2012-04-11 |
| 發明(設計)人: | 金賢鎬;李錫宇;崔熙東;李相振;徐誠模 | 申請(專利權)人: | 樂金顯示有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司: | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人: | 李輝;孫海龍 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 有機 發光二極管 顯示器 及其 制造 方法 | ||
技術領域
本發明的實施方式涉及有機發光二極管(OLED)顯示器及其制造方法。
背景技術
近來,隨著多媒體技術的發展,平板顯示器的重要性隨之增強。諸如液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)、場發射顯示器(FED)和有機發光二極管(OLED)顯示器之類的各種平板顯示器已投入實際運用。
在平板顯示器之中,液晶顯示器具有比陰極射線管更優異的可視性和更低的功耗。另外,OLED顯示器具有等于或小于大約1ms的快速響應時間、低功耗和寬視角。因此,具有自發光結構的OLED顯示器已被視為下一代顯示器。
圖1示出了相關技術的OLED顯示器。
如圖1中所示,緩沖層110位于基板100上,有源層115a和電容器下電極115b位于緩沖層110上,并且用于使有源層115a與電容器下電極115b絕緣的柵絕緣層120位于有源層115a和電容器下電極115b上。柵極130a和電容器上電極130b位于柵絕緣層120上,并且用于使柵極130a與電容器上電極130b絕緣的層間絕緣層135位于柵極130a和電容器上電極130b上。通過接觸孔140a和140b與有源層115a連接的源極145a和漏極145b位于層間絕緣層135上,由此構成薄膜晶體管(TFT)。
鈍化層150和通過通孔155與漏極145b連接的第一電極160位于TFT上。包括露出第一電極160的開口170的堤層(bank?layer)165位于基板100上,并且有機層175位于第一電極160上。間隔體180所處的位置環繞有機層175,并且第二電極185位于基板100上。以此方式,形成具有上述構造的OLED顯示器。
可以使用用于形成有源層115a、電容器下電極115b、柵極130a、接觸孔140a和140b、源極145a、漏極145b、通孔155、第一電極160、開口170和間隔體180的總共九個掩模來制造相關技術的OLED顯示器。
然而,因為是通過大量工藝使用九個掩模來制造相關技術的OLED顯示器,所以制造成本高并且產量低。
發明內容
本發明的實施方式提供了一種有機發光二極管(OLED)顯示器及其制造方法,能夠減少掩模的數量、降低制造成本并且提高產量和制造良率。
在一個方面,提供了一種OLED顯示器,其包括:基板;有源層和電容器下電極,它們位于所述基板上,彼此分開;柵絕緣層,其位于所述有源層和所述電容器下電極上;柵極,其位于所述柵絕緣層上的與所述有源層對應的位置處;電容器上電極,其位于所述柵絕緣層上的與所述電容器下電極對應的位置處;第一電極,其位置與所述柵極和所述電容器上電極分開;層間絕緣層,其位于所述柵極、所述電容器上電極和所述第一電極上;源極和漏極,它們位于所述層間絕緣層上并且連接到所述有源層,所述源極和所述漏極中的一個連接到所述第一電極;堤層,其位于所述源極和所述漏極上,所述堤層露出所述第一電極的一部分;間隔體,其位于所述堤層上;有機層,其位于所述第一電極被露出的部分上;和第二電極,其位于所述有機層上。
在另一個方面,提供了一種OLED顯示器,其包括:基板;有源層和硅圖案,它們位于所述基板上;位于所述有源層上的第一絕緣圖案和位于所述硅圖案上的第二絕緣圖案;電容器下電極,其位于所述第二絕緣圖案上;柵絕緣層,其位于所述第一絕緣圖案和所述電容器下電極上;柵極,其位于所述柵絕緣層上的與所述有源層對應的位置處;電容器上電極,其位于所述柵絕緣層上的與所述電容器下電極對應的位置處;第一電極,其位置與所述柵極和所述電容器上電極分開;層間絕緣層,其位于所述柵極、所述電容器上電極和所述第一電極上;源極和漏極,它們位于所述層間絕緣層上并且連接到所述有源層,所述源極和所述漏極中的一個連接到所述第一電極;堤層,其位于所述源極和所述漏極上,所述堤層露出所述第一電極的一部分;間隔體,其位于所述堤層上;有機層,其位于所述第一電極被露出的部分上;和第二電極,其位于所述有機層上。
附圖說明
所包括的附圖提供對本發明的進一步理解并且并入本說明書中構成本說明書的一部分,附圖示出了本發明的實施方式并且與文字描述一起用于說明本發明的原理。在附圖中:
圖1示出了相關技術的有機發光二極管(OLED)顯示器;
圖2是根據本發明的第一實施方式的OLED顯示器的剖視圖;
圖3A至圖3K是順序示出了制造根據本發明的第一實施方式的OLED顯示器的方法的各階段的剖視圖;
圖4是根據本發明的第二實施方式的OLED顯示器的剖視圖;和
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





