[發(fā)明專利]一種甲基氯硅烷的制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110273132.8 | 申請日: | 2011-09-15 |
| 公開(公告)號: | CN102286016A | 公開(公告)日: | 2011-12-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 譚軍;陳海慶;蔣旭明;李偉;馬高琪;毛國清;夏青;唐嵩 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇弘博新材料有限公司;嘉興學(xué)院 |
| 主分類號: | C07F7/12 | 分類號: | C07F7/12 |
| 代理公司: | 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡紅娟 |
| 地址: | 213373 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 甲基 硅烷 制備 方法 | ||
1.一種甲基氯硅烷的制備方法,包括:將CH3Cl和從直接法生產(chǎn)(CH3)2SiCl2產(chǎn)生的共沸物分離得到的SiCl4副產(chǎn)物或西門子法生產(chǎn)多晶硅還原工藝中產(chǎn)生的SiCl4廢液汽化后通入填充有鋁粉的流化床反應(yīng)器中,反應(yīng)得到通式為(CH3)nSiCl4-n的甲基氯硅烷混合產(chǎn)物,其中n為1~4的自然數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述的鋁粉在流化床反應(yīng)器中的裝料系數(shù)為0.3~0.9。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于,所述的鋁粉在流化床反應(yīng)器中的裝料系數(shù)為0.4~0.7。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述的反應(yīng)溫度為250~350℃。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于,所述的反應(yīng)溫度為280~320℃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述的SiCl4副產(chǎn)物或所述的SiCl4廢液中的SiCl4與CH3Cl的物質(zhì)的量比為1∶1~1∶5。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述的SiCl4副產(chǎn)物或所述的SiCl4廢液中的SiCl4與CH3Cl的物質(zhì)的量比為1∶2~1∶4。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述的SiCl4副產(chǎn)物與CH3Cl或所述的SiCl4廢液與CH3Cl共同汽化后通入流化床反應(yīng)器的總流速為50~300L/h·1kg鋁粉。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法,其特征在于,所述的SiCl4副產(chǎn)物與CH3Cl或所述的SiCl4廢液與CH3Cl共同汽化后通入流化床反應(yīng)器的總流速為100~200L/h·1kg鋁粉。
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