[發(fā)明專利]雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和模片結(jié)合器以及模片結(jié)合器的運(yùn)轉(zhuǎn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110271283.X
• 申請(qǐng)日: 2011-09-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102881614A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 深澤信吾;保坂浩二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)儀器
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/58
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強(qiáng);李家浩

1.一種雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

具有：處理部；

雙軸驅(qū)動(dòng)軸，該雙軸驅(qū)動(dòng)軸具備第一直線電動(dòng)機(jī)部和第二直線電動(dòng)機(jī)部，上述第一直線電動(dòng)機(jī)部具備使上述處理部沿第一直線導(dǎo)軌升降的第一可動(dòng)部和第一固定部，上述第二直線電動(dòng)機(jī)部具備使上述處理部在與上述升降方向垂直的水平方向上移動(dòng)的第二可動(dòng)部和第二固定部；

主電源，對(duì)上述雙軸驅(qū)動(dòng)軸供給電源；和

防止升降軸落下構(gòu)件，在上述主電源的電源失去時(shí)防止上述第一可動(dòng)部落下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

上述雙軸驅(qū)動(dòng)軸具有：借助于上述第一直線導(dǎo)軌連接上述第一可動(dòng)部并直接或間接地連接上述第二可動(dòng)部的連接部；使上述第一可動(dòng)部、上述第二可動(dòng)部和上述連接部成為一體并在上述水平方向上移動(dòng)的第二直線導(dǎo)軌；和將上述第一固定部和上述第二固定部在上述水平方向上以預(yù)定的長(zhǎng)度互相平行地進(jìn)行固定的支撐體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

上述雙軸驅(qū)動(dòng)軸具有第三直線導(dǎo)軌，該第三直線導(dǎo)軌將上述第一直線電動(dòng)機(jī)部固定在上述第二可動(dòng)部上，且導(dǎo)引上述第一直線電動(dòng)機(jī)部的上述水平方向的移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

上述防止升降軸落下構(gòu)件具有設(shè)于與上述第一可動(dòng)部一同移動(dòng)的第一可動(dòng)體部上的止動(dòng)件、和在上述電源失去時(shí)將上述止動(dòng)件在預(yù)定的位置進(jìn)行支撐的支撐驅(qū)動(dòng)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

將上述支撐驅(qū)動(dòng)部設(shè)于上述第一固定部或上述第二固定部的兩端側(cè)或者其附近的固定部件上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

上述支撐驅(qū)動(dòng)部是具備因電源的有無(wú)而突出的桿部的螺旋管或者具備氣缸桿的氣缸。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

上述支撐驅(qū)動(dòng)部具有：包圍上述處理部所具有的或設(shè)于上述處理部的突起部地設(shè)置的彈性體；和使上述彈性體收縮的構(gòu)件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

在上述預(yù)定的位置支撐的支撐動(dòng)作是利用與上述主電源分體設(shè)置的其它電源來(lái)進(jìn)行的。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

上述支撐驅(qū)動(dòng)部具有：具備在上述無(wú)電源時(shí)能突出的桿的螺旋管；彈簧；和連接上述桿和上述彈簧并以支點(diǎn)為中心蹺蹺板般地旋轉(zhuǎn)且在上述電源失去時(shí)利用上述彈簧使上述桿突出的工作部。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

上述支撐驅(qū)動(dòng)部具有：具備利用與上述主電源分體設(shè)置的其它電源能突出的桿的螺旋管；電磁鐵；和通過(guò)上述主電源的供給而被上述電磁鐵吸附與上述桿連接的動(dòng)作部。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，

具有在上述電源失去時(shí)用與上述主電源分體設(shè)置的其它電源使第一可動(dòng)部上升或在該狀態(tài)下維持該第一可動(dòng)部的控制構(gòu)件。

12.一種模片結(jié)合器，其特征在于，

具備根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并通過(guò)上述處理部對(duì)基板進(jìn)行處理。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的模片結(jié)合器，其特征在于，

上述處理部是將模片從晶片拾取且向上述基板結(jié)合的結(jié)合頭或向上述基板涂敷模片粘接劑的針。

14.一種模片結(jié)合器，其特征在于，

具備根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)上述處理部對(duì)基板進(jìn)行處理，上述處理部是將模片從晶片拾取且向上述基板結(jié)合的結(jié)合頭或向上述基板涂敷模片粘接劑的針。

15.一種模片結(jié)合器，其特征在于，

具備根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)上述處理部對(duì)基板進(jìn)行處理，上述處理部是將模片從晶片拾取且向上述基板結(jié)合的結(jié)合頭或向上述基板涂敷模片粘接劑的針。

16.一種模片結(jié)合器，其特征在于，

具備根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)上述處理部對(duì)基板進(jìn)行處理，上述處理部是將模片從晶片拾取且向上述基板結(jié)合的結(jié)合頭或向上述基板涂敷模片粘接劑的針。