[發明專利]藍光DVD、CD光學讀取頭的反射鏡膜系及其制備方法

有效

• 申請號: 201110268819.2
• 申請日: 2011-09-13
• 公開（公告）號: CN102332274A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發明（設計）人: 葉小兵;范利康
• 申請（專利權）人: 武漢正源高理光學有限公司
• 主分類號: G11B7/135
• 分類號: G11B7/135;G11B7/22
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 黃挺

技術領域

本發明涉及一種藍光DVD、CD光學讀取頭的反射鏡膜系及其制備方法。

背景技術

405nm、665nm、790nm分別對應于光學讀取頭藍光?DVD、?CD三種激光頭波長。與傳統DVD相比，藍光DVD需要利用波長較短（405nm）的藍色激光。現有的藍光DVD為在傳統DVD基礎上增加一組藍光光路，設備系統復雜，而且體積大。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供一種反射鏡膜系，在使用DVD激光頭時，鍍有該膜系的反射鏡高反，對原有光路不影響，而使用405nm藍光激光頭時，鍍有該膜系的反射鏡又達到使405nm高反的效果。使藍光和原有DVD光路組合在一起，減少體積，降低成本。

本發明提供的藍光DVD、CD光學讀取頭的反射鏡膜系，單面鍍覆于反射鏡的基底上，所述反射鏡膜系由33層膜構成，其中，與基底相接觸的膜為第一層膜，所述反射鏡膜系的奇數層膜為TiO₂膜，偶數層膜為SiO₂膜，所述反射鏡膜系各層的光學厚度為：

第一層膜：331nm;???????????第二層膜：226nm;

第三層膜：208nm;???????????第四層膜：173nm;

第五層膜：213nm;???????????第六層膜：176nm;

第七層膜：217nm;???????????第八層膜：185nm;

第九層膜：178nm;???????????第十層膜：226nm;

第十一層膜：172nm;?????????第十二層膜：182nm;

第十三層膜：631nm;??????????第十四層膜：376nm;

第十五層膜：208nm;?????????第十六層膜：199nm;

第十七層膜：163nm;??????????第十八層膜：183nm;

第十九層膜：227nm;??????????第二十層膜：153nm;

第二十一層膜：225nm;???????第二十二層膜：140nm;

第二十三層膜：268nm;????????第二十四層膜：131nm;

第二十五層膜：279nm；???????第二十六層膜：122nm;

第二十七層膜：461nm；???????第二十八層膜：137nm;

第二十九層膜：101nm；?????????第三十層膜：335nm;

第三十一層膜：99nm;??????????第三十二層膜：146nm;?

第三十三層膜：83nm。

優選地，所述反射鏡的基底為B270。

上述的反射鏡膜系的制備方法為：所述膜系的各層膜通過真空蒸鍍單面鍍覆在所述反射鏡的基底上。

優選地，上述的制備方法，包括以下步驟：

1）清洗基底；

2）計算所述反射鏡膜系各層膜的物理厚度；

3）將步驟1）所得的基底放入高真空鍍膜設備中，抽真空，加熱基底至280~300℃，保溫，啟動離子源設備清洗基底；

4）以電子束蒸發源蒸鍍，使所述反射鏡膜系的各層膜以物理厚度依次鍍覆于所述反射鏡基底的一面上。

優選地，步驟4）所述電子束蒸發源蒸鍍SiO₂膜時，真空度為3×10^-3?Pa，沉積速率為0.7nm/s；所述電子束蒸發源蒸鍍TiO₂膜時，真空度為2×10^-2Pa，沉積速率為0.3nm/s。

本發明通過設計鍍制這種膜系，有效的簡化了光學系統，減少儀器的體積和重量。本發明設計的膜系是使用角度45°：在藍光405nm高反，DVD665nm?CD790nm波段高反。通過本發明選用的工藝，偏光S光和P光的反射率能達到97%以上，本發明工藝簡單，重復性好。

具體實施方式

下面結合具體實施例對本發明作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本發明并能予以實施，但所舉實施例不作為對本發明的限定。

本發明的藍光DVD、CD光學讀取頭的反射鏡膜系，所述反射鏡膜系單面鍍覆于反射鏡的基底上，所述反射鏡膜系由33層膜構成，其中，與基底相接觸的膜為第一層膜，所述反射鏡膜系的奇數層膜為TiO₂膜，偶數層膜為SiO₂膜，所述反射鏡膜系各層的光學厚度為：