[發明專利]藍光DVD、CD光學讀取頭的反射鏡膜系及其制備方法

有效

• 申請號: 201110268819.2
• 申請日: 2011-09-13
• 公開（公告）號: CN102332274A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發明（設計）人: 葉小兵;范利康
• 申請（專利權）人: 武漢正源高理光學有限公司
• 主分類號: G11B7/135
• 分類號: G11B7/135;G11B7/22
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 黃挺

1.一種藍光DVD、CD光學讀取頭的反射鏡膜系，其特征在于，所述反射鏡膜系單面鍍覆于反射鏡的基底上，所述反射鏡膜系由33層膜構成，其中，與基底相接觸的膜為第一層膜，所述反射鏡膜系的奇數層膜為TiO₂膜，偶數層膜為SiO₂膜，所述反射鏡膜系各層的光學厚度為：

第一層膜：331nm;???????????第二層膜：226nm;

第三層膜：208nm;???????????第四層膜：173nm;

第五層膜：213nm;???????????第六層膜：176nm;

第七層膜：217nm;???????????第八層膜：185nm;

第九層膜：178nm;???????????第十層膜：226nm;

第十一層膜：172nm;?????????第十二層膜：182nm;

第十三層膜：631nm;??????????第十四層膜：376nm;

第十五層膜：208nm;?????????第十六層膜：199nm;

第十七層膜：163nm;??????????第十八層膜：183nm;

第十九層膜：227nm;??????????第二十層膜：153nm;

第二十一層膜：225nm;???????第二十二層膜：140nm;

第二十三層膜：268nm;????????第二十四層膜：131nm;

第二十五層膜：279nm；???????第二十六層膜：122nm;

第二十七層膜：461nm；???????第二十八層膜：137nm;

第二十九層膜：101nm；?????????第三十層膜：335nm;

第三十一層膜：99nm;??????????第三十二層膜：146nm;?

第三十三層膜：83nm。

2.根據權利要求1所述的反射鏡膜系，其特征在于，所述反射鏡的基底為B270。

3.權利要求1~2任一項所述的反射鏡膜系的制備方法，其特征在于，所述膜系的各層膜通過真空蒸鍍單面鍍覆在所述反射鏡的基底上。

4.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）清洗基底；

2）計算所述反射鏡膜系各層膜的物理厚度；

3）將步驟1）所得的基底放入高真空鍍膜設備中，抽真空，加熱基底至280~300℃，保溫，啟動離子源設備清洗基底；

4）以電子束蒸發源蒸鍍，使所述反射鏡膜系的各層膜以物理厚度依次鍍覆于所述反射鏡基底的一面上。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，步驟4）所述電子束蒸發源蒸鍍SiO₂膜時，真空度為3×10^-3?Pa，沉積速率為0.7nm/s；所述電子束蒸發源蒸鍍TiO₂膜時，真空度為2×10^-2Pa，沉積速率為0.3nm/s。