[發(fā)明專利]鍍膜件及其制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110267028.8
• 申請日: 2011-09-09
• 公開（公告）號: CN102994954A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳正士;李聰
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: C23C14/16
• 分類號: C23C14/16;C23C14/06;C23C14/35;B32B9/04;B32B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種鍍膜件及其制備方法。

背景技術(shù)

鈮基合金具有較高的熔點(diǎn)(＞1700℃)，較低的密度(6.6～7.2g/cm³)，良好的室溫斷裂韌性(＞20Mpa.m^1/2)，良好的高溫強(qiáng)度及鑄造性能。然而，鈮基合金抗氧化性能差，在溫度較高的條件下(1200℃～1400℃或更高溫度)使用時存在嚴(yán)重的氧化現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，有必要提供一種提高鈮基合金抗高溫氧化性能的鍍膜件。

另外，還有必要提供一種上述鍍膜件的制備方法。

一種鍍膜件，其包括基材、形成于基材表面的復(fù)合層及形成于復(fù)合層表面的鉻氧氮層，該復(fù)合層包括若干鎳鋁鈥層和若干金屬銥層，該鎳鋁鈥層和金屬銥層交替排布，其中該復(fù)合層中與所述基材直接相結(jié)合的是鎳鋁鈥層，與鉻氧氮層直接相結(jié)合的為金屬銥層。

一種鍍膜件的制備方法，其包括如下步驟：

提供基材；

在該基材的表面形成鎳鋁鈥層；

在該鎳鋁鈥層的表面形成金屬銥層；

交替重復(fù)上述形成鎳鋁鈥層和金屬銥層的步驟制備所述復(fù)合層，且使復(fù)合層的最外層為金屬銥層；

在該復(fù)合層的表面形成鉻氧氮層。

本發(fā)明復(fù)合層包括若干鎳鋁鈥層和若干金屬銥層，鎳鋁鈥層具有優(yōu)異的抗氧化性能；金屬銥層在高溫條件下氧滲透率低，可以有效阻止氧朝基材內(nèi)擴(kuò)散；最外層鉻氧氮層膜層致密，可有效延緩氧朝基材的方向擴(kuò)散，從而進(jìn)一步保護(hù)復(fù)合層和基材；因此所鍍膜層使所述鍍膜件具有良好的抗高溫氧化性能，從而有效提高鍍膜件的使用壽命。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一較佳實(shí)施例的鍍膜件的剖視圖；

圖2為本發(fā)明一較佳實(shí)施例真空鍍膜機(jī)的俯視示意圖。

主要元件符號說明

鍍膜件10基材11復(fù)合層13鎳鋁鈥層131金屬銥層133鉻氧氮層15真空鍍膜機(jī)20鍍膜室21銥靶23鎳鋁鈥靶24鉻靶26軌跡25真空泵30

如下具體實(shí)施方式將結(jié)合上述附圖進(jìn)一步說明本發(fā)明。

具體實(shí)施方式