[發明專利]一種凝膠注模成型技術制備ITO靶材的方法

有效

• 申請號: 201110265570.X
• 申請日: 2011-09-08
• 公開（公告）號: CN102432282A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 楊碩;張秀勤;王政紅;張雪鳳;劉冠鵬;薛建強
• 申請（專利權）人: 中國船舶重工集團公司第七二五研究所
• 主分類號: C04B35/457
• 分類號: C04B35/457;C04B35/622
• 代理公司: 洛陽市凱旋專利事務所 41112
• 代理人: 王自剛

1.一種凝膠注模成型技術制備ITO靶材的方法，其特征是具體方法為：

（1）ITO復合粉體的制備：

制備In₂O₃和SnO₂的化學共沉淀復合粉體或銦錠和錫錠的電弧氣化復合粉體作為原料粉，該原料粉中In₂O₃質量分數為85-95%，SnO₂為5-15%，粉體純度為4N，復合粉體的平均粒徑限制為0.05-2微米；

（2）高固相含量漿料的制備：

將（1）制備的純度為99.99%、平均粒徑為0.05-2μm的ITO粉末與去離子水混合后，進行機械球磨制備出固相含量為75%～85%的漿料；各添加劑占漿料質量的百分數為：有機分散劑占0.08%～0.25%，單體占1.85%～4.35%，交聯劑占0.09%～0.40%，球磨時間為10～25h；

（3）高固相含量漿料的坯體成型：

將（2）制備的漿料中加入0.10‰～0.40‰的引發劑，以及0～0.10‰的催化劑，攪拌均勻后注入金屬、玻璃或塑料模具，在50℃～80℃條件下干燥后原位凝固成型，成型后脫模；

（4）凝膠注模成型坯體的脫脂：

對（3）成型的坯體繼續干燥5～10h后，在400℃～800℃條件下進行脫脂處理；

（5）成型坯體的燒結：

對（4）中脫脂的坯體在微正壓氣氛條件下加熱到1450℃～1550℃，保溫3～10h進行燒結，制得靶材。

2.根據權利要求1所述的凝膠注模成型技術制備ITO靶材的方法，其特征是：所述的所述的分散劑為D-3019，單體為以下有機物中的一種或兩種：甲基丙烯酰胺（MAM）、N-乙烯基吡咯烷酮（NVP）、甲氧基-聚乙二醇甲基丙烯酸（MPEGMA）、甲基丙烯酸二甲胺基乙酯（DMAEMA）、二甲基羥乙基丙烯酸甲酯（HEMA）、二甲基丙烯酰胺（DMMA）。

3.根據權利要求1所述的凝膠注模成型技術制備ITO靶材的方法，其特征是：所述的交聯劑為N-N’亞甲基雙丙烯酰胺（MBAM）、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯（PEGDMA）、丙烯基丙烯酸甲酯中的任一種。

4.根據權利要求1所述的凝膠注模成型技術制備ITO靶材的方法，其特征是：所述的引發劑為過硫酸銨（APS）、偶氮二咪唑啉丙烷（AZIP）、偶氮二咪基丙烷鹽酸鹽（AZAP）、雙氧水（H₂O₂）中的任一種。

5.根據權利要求1所述的凝膠注模成型技術制備ITO靶材的方法，其特征是：所述的催化劑為四甲基乙二胺。