[發明專利]一種大視場投影物鏡有效
| 申請號： | 201110264064.9 | 申請日： | 2011-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN102981255A | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 武珩;黃玲 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G02B17/08 | 分類號： | G02B17/08;G02B13/00;G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 視場 投影 物鏡 | ||
【權利要求書】：
1.一種大視場投影物鏡，其特征在于投影物鏡光學系統沿物面依次包括：由第一凹面反射鏡和第一凸面反射鏡組成的第一折返光路，一前透鏡組，一中間像面，一后透鏡組，以及由第二凸面反射鏡和第二凹面反射鏡組成的第二折返光路。
2.根據權利要求1所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡光學系統整體放大倍率為+1倍。
3.根據權利要求1所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述前透鏡組和后透鏡組相對所述中間像面對稱設置，至少包含一個正透鏡，一個負透鏡。
4.根據權利要求3所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述前、后透鏡組中的正透鏡使用高色散材料，負透鏡使用低色散材料，所述高色散材料的阿貝數小于45的材料，所述低色散材料的阿貝數大于65的材料。
5.根據權利要求3所述的大視場投影物鏡，其特征在于通過改變所述前、后透鏡組中正負透鏡的間隔改變光學系統的放大倍率。
6.根據權利要求1所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述凹面反射鏡的口徑大于凸面反射鏡的口徑。
7.根據權利要求1所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡形成視場的長邊與短邊的比小于10。
8.根據權利要求1所述的大視場投影物鏡，其特征在于所述光學系統中光學元件為共軸設置，或不共軸設置。
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