[發明專利]分光測量裝置

有效

• 申請號: 201110262087.6
• 申請日: 2011-09-06
• 公開（公告）號: CN102478429A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 舟本達昭
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01J3/00
• 分類號: G01J3/00;G01J3/10
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳孟秋;梁韜

技術領域

本發明涉及測量入射光的分光特性的分光測量裝置。

背景技術

在現有技術中，測量入射光的各波長光的光特性(色度與亮度等)的分析裝置是已知的(例如，參考專利文獻1)。

專利文獻1記載的分析裝置是這樣的裝置：使從光源發射、經樣品反射的光入射到波長可變干涉濾波器，用光電二極管來接收透過波長可變干涉濾波器的光，然后，通過檢測光電二極管輸出的電流來進行測量。在這種分析裝置中，可以通過控制波長可變干涉濾波器改變透過波長可變干涉濾波器的光，從入射光依次轉換為所希望波長的光，并由光電二極管接收。

專利文獻1：特開2005-106753號公報

然而，如果使用在可見光波長區域內沒有峰值波長的鎢燈等的白色光為光源時，短波長區的光量會下降，因此，在波長可變干涉濾波器的可分光的波長區內，短波長區的光的光量可能會下降。因此，由光電二極管接收的光的光量降低，短波長區的分光特性的測量精度變差。由此，產生了不能正確測量入射光的分光特性的問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種可高精度地測量分光特性的分光測量裝置。

本發明的分光測量裝置是一種將可見光波長區域的光進行分光的分光測量裝置，包括：第一光源，發射在上述可見光波長區域沒有峰值波長、并且隨著波長由短波向長波的增大光量增大的光；第二光源，發射在上述可見光波長區域中具有峰值波長的光；光混合器，將從上述第一光源和上述第二光源發射的光混合；波長可變干涉濾波器，讓所述光混合器混合的光入射進來，并使上述混合的光的入射光中的特定波長的光透過；光接收部，接收透過上述波長可變干涉濾波器的光；測量控制部，轉換可透過上述波長可變干涉濾波器的光波長，并基于上述光接收部接收到的光來測量透過上述波長可變干涉濾波器的光的分光特性。

根據本發明，分光測量裝置包括：發射在可見光波長區域無峰值波長、隨著波長由短波向長波的增大光量增大的光的第一光源；發射在可見光波長區域具有峰值波長的光的第二光源；以及混合各光源發射的光的光混合器。而且，光混合器混合各光源發射的光，光接收部接收透過波長可變干涉濾波器的檢測對象光，測量控制部測量檢測對象光的分光特性。這里，如上文所述，當只使用在可見光波長區域中無峰值波長的第一光源時，在可見光波長區域的特定波長區域內光量明顯降低。然而，根據本發明，例如第二光源如果發射在短波長區(第一光源的光量少的波長區域)具有峰值波長的光，則可有效地補償第一光源的光量明顯降低的短波長區的光量。因此，可提高光量降低的波長區域的分光特性的測量精度，進而能夠進行高精度的分光特性測量。

在本發明的分光測量裝置中，優選上述第二光源在385nm以上450nm以下的范圍內具有峰值波長。

若將波長可變干涉濾波器的波長可變區域設定為380nm～780nm，并且使用鎢燈等短波長區的光量小的第一光源時，尤其在短波長區，第一光源的光量會降低。因此，進行高精度的分光特性的測量需要補償短波長區的光量。根據本發明，使用了在385nm以上450nm以下范圍內具有峰值波長的第二光源，因此，能夠用第二光源補償短波長區的光量。因此，即便在短波長區也能得到足夠的光量，從而可以進行高精度的分光特性測量。

附圖說明

圖1是示出本發明的第一實施方式的分光測量裝置的結構簡圖。

圖2是示出上述第一實施方式的光源部光譜分布的曲線圖。

圖3是示出上述第一實施方式的標準具大致結構的截面圖。

圖4是示出上述第一實施方式的標準具的波長校正處理的流程圖。

圖5是示出在上述第一實施方式的光接收部生成的電信號的電流值與驅動電壓之間關系的曲線圖。

圖6是用于說明上述第一實施方式的標準具的波長校正的圖。

圖7是示出本發明的第二實施方式的分光測量裝置的結構簡圖。

圖8是示出上述第二實施方式的光源部的光譜分布的曲線圖。

圖9是用于說明上述第二實施方式的標準具的波長校正的圖。

圖10是示出涉及本發明變形例的光源部的光譜分布的曲線圖。

具體實施方式

第一實施方式

下面，根據附圖說明本發明的第一實施方式。

1.分光測量裝置的簡要結構

圖1是示出第一實施方式的分光測量裝置1的簡要結構的圖。