[發明專利]電極引入裝置有效
| 申請號： | 201110261064.3 | 申請日： | 2011-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN102321877A | 公開（公告）日： | 2012-01-18 |
| 發明（設計）人： | 鄭建宇;宋曉彬;王廣明;桂曉波;楊光;唐亞非 | 申請（專利權）人： | 北京七星華創電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/50 | 分類號： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 韓國勝;王瑩 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電極 引入 裝置 | ||
1.電極引入裝置，其特征在于，包括：兩個并列設置的電極支架；每個電極支架的一端與一個爐門電極相連，另一端為金屬觸頭，與石墨舟上的電極塊相連。
2.如權利要求1所述的電極引入裝置，其特征在于，所述電極塊有兩塊，分別位于石墨舟兩側，且每塊電極塊上具有凹槽。
3.如權利要求2所述的電極引入裝置，其特征在于，所述每個金屬觸頭上，與電極塊凹槽相接觸的位置設置有凸起。
4.如權利要求3所述的電極引入裝置，其特征在于，所述凹槽凹陷的方向與所述凸起凸出的方向相同。
5.如權利要求1所述的電極引入裝置，其特征在于，所述石墨舟放置在石墨舟支撐桿上，所述石墨舟支撐桿與爐門內側相連，且所述石墨舟支撐桿為至少兩根并列的碳化硅棒。
6.如權利要求5所述的電極引入裝置，其特征在于，并列的碳化硅棒端部設置有金屬連接塊，以將碳化硅棒固定連接。
7.如權利要求5所述的電極引入裝置，其特征在于，所述碳化硅棒上設置有至少兩個支撐架，用以支撐石墨舟。
8.如權利要求7所述的電極引入裝置，其特征在于，所述支撐架為金屬支撐架，其上與石墨舟接觸的位置設置有絕緣板；所述支撐架至少一側的碳化硅棒上套設有絕緣套。
9.如權利要求1所述的電極引入裝置，其特征在于，兩個所述電極支架由絕緣模塊將其與周圍導電部件隔離開。
10.如權利要求1所述的電極引入裝置，其特征在于，所述電極塊采用石墨墊塊。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
