[發明專利]用于真空環境中直觸式探測物料表面參數的窗式裝置

無效

• 申請號: 201110258864.X
• 申請日: 2011-08-30
• 公開（公告）號: CN102433540A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 費紹棟
• 申請（專利權）人: 費紹棟
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54;C23C14/52
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• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及扁平材料半成品二次加工或深加工行業，具體的說是一種用于真空環境中直觸式探測物料表面參數的窗式裝置，應用于扁平材料半成品二次加工或深加工設備上面。

背景技術

現有技術中扁平材料多為整卷的材料，長度從幾百米至上萬米不等，而對于要求相對較高的材料(如鍍膜)在涂覆加工的過程都是處于真空環境中完成的。由于這樣的加工工藝環境復雜、技術難度較高，所以對于在真空環境中完成涂覆工作的設備以及檢測物料表面質量參數進行測量的檢測設備和技術要求都非常高。目前國內這種在扁平材料表面進行涂覆工藝的設備已經不完全依賴于進口了。但是由于這種對扁平材料表面進行涂覆加工工藝是完全處于真空環境中完成的，所以這就對在涂覆過程中材料表面質量檢測的設備和技術要求非常高。同時由于扁平材料(如膜)收儲的特殊性，多為卷裝，中間不能有任何斷裂或者破損，所以在加工過程中的材料必須保持連續性。但又不能采用整卷材料全都涂覆完成取出后再進行檢測，那樣就無法保證整卷材料的質量統一是否合格。也不能加工過程中在大氣中進行測試，那樣會造成真空環境泄漏和破壞，造成整卷薄膜質量不合格。但必須在加工過程中在真空環境情況下對材料表面進行實時質量數據采集檢測，以此確保整個材料質量自始至終的穩定性。所以就得要求在真空中完成對薄膜表面質量參數的在線采集和監測。把測量儀器儀表置于真空中，信號由數據線引出。測試儀器儀表的體積和使用環境受限制、電子芯片散熱、電路板防電暈等因素導致測量系統可靠性極低。同時目前工作在真空里的分析測試儀器儀表幾乎沒有，依賴于購買進口產品，價格非常高。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種用于真空環境中直觸式探測物料表面參數的窗式裝置，本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：本發明的結構包括通氣閥、通氣孔、活動密封蓋、橡膠密封圈、橡膠墊、密封托板、萬向球坑、萬向球頭、直線滑桿、直線軸承、連桿、偏心輪、轉動軸、真空、外殼，其特征在于外殼上面中心處設置密封窗口，密封窗口處設置活動密封蓋，活動密封蓋下面與密封窗口之間設置有橡膠密封圈，活動密封蓋中心位置設置有通氣孔，活動密封蓋上面設置通氣閥，通氣閥與通氣孔連接，活動密封蓋里面對應位置設置密封托板，密封托板上面設置有圓形片狀的橡膠墊，在外殼內與密封托板相對的位置也設置有環形片狀的橡膠墊，外殼上的橡膠墊中間設置孔并且孔的直徑與密封窗口徑相等外徑與密封托板的直徑相等，密封托板的下表面設置有萬向球坑，萬向球坑內設置有萬向球頭，萬向球頭下面設置直線滑桿，直線滑桿固定在直線軸承上，直線滑桿下面設置有偏心輪，偏心輪中心設置轉動軸，直線滑桿通過連桿與偏心輪連接，直線滑桿可做直線往復運動，外殼內設置真空。

工作原理及使用方法：本發明工作原理是將已經加工好的扁平材料經過檢測區，使扁平物料做短暫停留，待測試完成后再繼續前行。偏心輪的轉動軸經真空密封軸承引出真空室，在馬達變速箱或搖把的驅動下，偏心輪經連桿驅動直線軸承內的直線滑桿做直線往復運動。滑桿端部的萬向球頭頂入密封托板背部萬向球坑，以保證兩個密封面在受力時的平行度。密封托板上面固定圓形片狀密封橡膠墊，窗口內測的真空殼體上固定環形片狀的密封橡膠墊。環形密封橡膠墊的內徑與密封窗口徑相等，外徑與密封托板直徑相等。活動密封蓋與真空殼體之間用橡膠密封圈密封。當直線滑桿處于上極限位時，位于片狀物料兩側的密封橡膠墊被擠壓，此時的密封托板、片狀物料和密封窗內測形成真空密封。位于密封窗蓋上面的放氣閥放氣后，打開窗蓋。此時位于窗口的片狀物料上表面暴露在大氣中，且不影響殼體內的真空度。使用測試儀器的探頭(傳感器)對物料表面直接進行測試。完成測試后，蓋上窗蓋，關閉放氣閥。驅動偏心輪的轉動軸，通過連桿把直線連桿和密封托板帶回下極限位，橡膠墊和片狀物料分離，本次測試過程結束，物料涂覆加工繼續行進。

本發明的有益效果是，本發明具有結構簡單，成本低廉的特點，將真空外檢測和真空中生產結合在一起，降低了檢測設備的環境要求，進而降低了成本。

附圖說明

圖1：本發明實施例結構未探測物料狀態示意圖；

圖2：本發明實施例結構探測物料至上極限位置示意圖；

圖中：通氣閥1、通氣孔2、活動密封蓋3、橡膠密封圈4、片狀物料5、橡膠墊6、密封托板7、萬向球坑8、萬向球頭9、直線滑桿10、直線軸承11、連桿12、偏心輪13、轉動軸14、真空15。

具體實施方式