[發(fā)明專利]用于真空環(huán)境中直觸式探測(cè)物料表面參數(shù)的窗式裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110258864.X
• 申請(qǐng)日: 2011-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102433540A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 費(fèi)紹棟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 費(fèi)紹棟
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/54;C23C14/52
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.用于真空環(huán)境中直觸式探測(cè)物料表面參數(shù)的窗式裝置，包括通氣閥(1)、通氣孔(2)、活動(dòng)密封蓋(3)、橡膠密封圈(4)、橡膠墊(6)、密封托板(7)、萬(wàn)向球坑(8)、萬(wàn)向球頭(9)、直線滑桿(10)、直線軸承(11)、連桿(12)、偏心輪(13)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸(14)、真空(15)、外殼(16)，其特征在于外殼(16)上面中心處設(shè)置密封窗口，密封窗口處設(shè)置活動(dòng)密封蓋(3)，活動(dòng)密封蓋(3)下面與密封窗口之間設(shè)置有橡膠密封圈(4)，活動(dòng)密封蓋(3)中心位置設(shè)置有通氣孔(2)，活動(dòng)密封蓋(3)上面設(shè)置通氣閥(1)，通氣閥(1)與通氣孔(2)連接，活動(dòng)密封蓋(3)里面對(duì)應(yīng)位置設(shè)置密封托板(7)，密封托板(7)上面設(shè)置有圓形片狀的橡膠墊(6)，在外殼(16)內(nèi)與密封托板(7)相對(duì)的位置也設(shè)置有環(huán)形片狀的橡膠墊(6)，外殼(16)上的橡膠墊(6)中間設(shè)置孔并且孔的直徑與密封窗口徑相等外徑與密封托板(7)的直徑相等，密封托板(7)的下表面設(shè)置有萬(wàn)向球坑(8)，萬(wàn)向球坑(8)內(nèi)設(shè)置有萬(wàn)向球頭(9)，萬(wàn)向球頭(9)下面設(shè)置直線滑桿(10)，直線滑桿(10)固定在直線軸承(11)上，直線滑桿(10)下面設(shè)置有偏心輪(13)，偏心輪(13)中心設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸(14)，直線滑桿(10)通過(guò)連桿(12)與偏心輪(13)連接，直線滑桿(10)可做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，外殼(16)內(nèi)設(shè)置真空。