[發(fā)明專利]測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110250245.6
• 申請(qǐng)日: 2011-08-29
• 公開（公告）號(hào): CN102445124A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴韞青;王劍;毛智彪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G01B5/00
• 分類號(hào): G01B5/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，一掩模板盒具有一盒蓋、一底座板和一支架，所述支架固定在底座板上，將一掩模板固定在所述支架上，其特征在于，一測(cè)量工具的一側(cè)表面形成有刻度，所述測(cè)量工具的另一側(cè)表面具有兩直角卡槽，通過兩直角卡槽將測(cè)量工具固定在底座板上，使測(cè)量工具位于掩模板的一側(cè)，且使測(cè)量工具與掩模板的一側(cè)邊緣平行，以對(duì)掩模板的圖形保護(hù)膜進(jìn)行測(cè)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其特征在于，所述掩模板包括石英板主體和所述圖形保護(hù)膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其特征在于，采用直尺作為所述測(cè)量工具。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其特征在于，將測(cè)量工具固所述底座板上使所述測(cè)量工具的刻度的零點(diǎn)位置與所述掩模板的中心保持一致。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其特征在于，所述兩直角卡槽垂直安裝在所述測(cè)量工具上，對(duì)兩垂直卡槽的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得兩垂直卡槽與底座板相固定，進(jìn)而將測(cè)量工具固定在底座板上。