[發(fā)明專利]測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110250245.6
• 申請(qǐng)日: 2011-08-29
• 公開（公告）號(hào): CN102445124A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴韞青;王劍;毛智彪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G01B5/00
• 分類號(hào): G01B5/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

技術(shù)領(lǐng)域

????本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體工藝，尤其涉及一種測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法。

背景技術(shù)

由于半導(dǎo)體芯片制造業(yè)對(duì)于不同的工藝需求會(huì)使用不同類型的光刻機(jī)，再加上制造光刻機(jī)的廠家不止一家，因此不同型號(hào)的光刻機(jī)會(huì)使用不同尺寸的掩模板保護(hù)膜（附圖1中②的窄邊尺寸會(huì)有不同）。尺寸用錯(cuò)會(huì)造成對(duì)掩模板或設(shè)備的損壞，因此掩模板制造廠家在掩模板出廠時(shí)會(huì)對(duì)使用的保護(hù)膜型號(hào)進(jìn)行檢查，但是仍然會(huì)存在漏檢的風(fēng)險(xiǎn)。

目前大部分芯片制造廠對(duì)此項(xiàng)目只有進(jìn)貨時(shí)的清單檢查，沒有對(duì)實(shí)際保護(hù)膜尺寸的檢查。另外由于不同型號(hào)的尺寸只相差數(shù)毫米，單靠目測(cè)無法發(fā)現(xiàn)。現(xiàn)在有個(gè)別廠利用掩模板缺陷檢查的設(shè)備在檢查時(shí)所拍的照片進(jìn)行間接的檢查，這樣多浪費(fèi)了設(shè)備時(shí)間和人工，增加了成本而且要花較長(zhǎng)的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容

????本發(fā)明公開了一種測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于無法檢測(cè)保護(hù)膜尺寸導(dǎo)致的由于保護(hù)膜尺寸錯(cuò)誤造成掩模板或設(shè)備損壞的問題。

????本發(fā)明的上述目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

????一種測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，一掩模板盒具有一盒蓋、一底座板和一支架，所述支架固定在底座板上，將一掩模板固定在所述支架上，其中，一測(cè)量工具的一側(cè)表面形成有刻度，所述測(cè)量工具的另一側(cè)表面具有兩直角卡槽，通過兩直角卡槽將測(cè)量工具固定在底座板上，使測(cè)量工具位于掩模板的一側(cè)，且使測(cè)量工具與掩模板的一側(cè)邊緣平行，以對(duì)掩模板的圖形保護(hù)膜進(jìn)行測(cè)量。

????如上所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其中，所述掩模板包括石英板主體和所述圖形保護(hù)膜。

????如上所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其中，采用直尺作為所述測(cè)量工具。

如上所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其中，將測(cè)量工具固所述底座板上使所述測(cè)量工具的刻度的零點(diǎn)位置與所述掩模板的中心保持一致。

如上所述的測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，其中，所述兩直角卡槽垂直安裝在所述測(cè)量工具上，對(duì)兩直角卡槽的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得兩直角卡槽與底座板相固定，進(jìn)而將測(cè)量工具固定在底座板上。

????綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于無法檢測(cè)保護(hù)膜尺寸導(dǎo)致的由于保護(hù)膜尺寸錯(cuò)誤造成掩模板或設(shè)備損壞的問題，通過在掩模板盒上固定測(cè)量工具實(shí)現(xiàn)掩模板的圖形保護(hù)膜尺寸的精確測(cè)量。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本發(fā)明及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。

????圖1是本發(fā)明測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖；

????圖2是本發(fā)明測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法的將掩模板固定在掩模板盒后的示意圖；

????圖3是本發(fā)明測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法的測(cè)量工具一側(cè)表面的示意圖；

????圖4是本發(fā)明測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法的測(cè)量工具的另一側(cè)表面的示意圖；

????圖5是本發(fā)明測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法的將測(cè)量工具固定在底座板后的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的說明：

????一種測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法，圖2是本發(fā)明測(cè)量掩模板保護(hù)膜的工具及方法的將掩模板固定在掩模板盒后的示意圖，清參見圖2，一掩模板盒10具有一盒蓋101、一底座板102和一支架103，所述支架103固定在底座板102上，盒蓋101的一側(cè)變與底座板102的一側(cè)邊通過一旋轉(zhuǎn)件連接，將一掩模板20固定在所述支架103上，其中，