[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備及其制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110245081.8
• 申請日: 2011-08-25
• 公開（公告）號: CN102386207A
• 公開（公告）日: 2012-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柳春其;崔埈厚
• 申請（專利權(quán)）人: 三星移動顯示器株式會社
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L29/786;H01L21/77
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 羅正云;宋志強(qiáng)

優(yōu)先權(quán)要求

本申請參考早先于2010年8月30日遞交韓國知識產(chǎn)權(quán)局并被正式指派序列號No.10-2010-0084178的申請，將其合并于此，并要求其所有權(quán)益。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備及其制造方法，更具體地說，涉及具有簡單制造工藝和良好顯示質(zhì)量的有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備及其制造方法。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備是自發(fā)射顯示設(shè)備，其中電壓被施加給包括陽極、陰極以及布置在陽極與陰極之間的有機(jī)發(fā)射層的薄膜層，使得電子和空穴在有機(jī)發(fā)射層中復(fù)合以發(fā)光。

由于視角寬、響應(yīng)速度快并且功耗低以及重量和尺寸小，有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備被認(rèn)為是下一代顯示設(shè)備。

用于實現(xiàn)全彩色的有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備使用光學(xué)諧振結(jié)構(gòu)，光學(xué)諧振結(jié)構(gòu)用于改變從不同像素(例如紅色、綠色和藍(lán)色像素)中每一個的有機(jī)發(fā)射層所發(fā)射的光的各個波長的光程。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明涉及一種具有簡單制造工藝和良好顯示質(zhì)量的有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備及其制造方法。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，一種有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備包括：薄膜晶體管的有源層，形成在基板上；形成在所述有源層和第一絕緣層上的柵電極，包括第一透明導(dǎo)電層和第一金屬層；形成在所述柵電極和第二絕緣層上的源電極和漏電極，包括通過形成在所述第二絕緣層中的接觸孔連接至所述有源層的第二金屬層、形成在所述第二金屬層上的第三金屬層以及形成在所述第三金屬層上的第二透明導(dǎo)電層；形成在所述第一絕緣層上的像素電極，包括所述第一透明導(dǎo)電層、所述第三金屬層和所述第二透明導(dǎo)電層；布置在所述像素電極上的中間層，包括有機(jī)發(fā)射層；以及對電極，通過在所述像素電極與所述對電極之間插入所述中間層而被布置為面對所述像素電極。

所述第三金屬層可以包括反射材料。

所述反射材料可以包括銀(Ag)。

所述第一透明導(dǎo)電層和所述第二透明導(dǎo)電層中的每一個可以包括從氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)、氧化鋅(ZnO)、氧化銦(In₂O₃)、氧化銦鎵(IGO)以及氧化鋁鋅(AZO)所組成的組中選擇的至少一種。

所述第一金屬層和所述第二金屬層中的每一個可以包括多個金屬層。

所述第一金屬層和所述第二金屬層可以包括相同的材料。

所述第一金屬層和所述第二金屬層可以包括鋁(Al)。

在所述像素電極中，所述第一透明導(dǎo)電層可以具有與所述第三金屬層和所述第二透明導(dǎo)電層的刻蝕端不同的刻蝕端。

所述第一金屬層可以布置在所述第一透明導(dǎo)電層的上表面上、所述第三金屬層的旁邊的表面上以及所述像素電極的第二絕緣層的下表面上。

所述像素電極的第一透明導(dǎo)電層可以通過透過所述第一金屬層和所述第二絕緣層的通孔連接至所述源電極和漏電極之一。

所述有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備可以進(jìn)一步包括電容器，所述電容器包括與所述有源層材料相同并形成在與所述有源層相同水平上的第一電極，以及包括所述第一透明導(dǎo)電層并形成在所述第一絕緣層上的第二電極。

所述電容器的第二電極可以進(jìn)一步包括位于所述第一透明導(dǎo)電層上的第三金屬層和第二透明導(dǎo)電層。

所述像素電極可以為用于部分透射并部分反射從所述有機(jī)發(fā)射層發(fā)射的光的半透半反鏡。

所述對電極可以為用于反射從所述有機(jī)發(fā)射層發(fā)射的光的反射鏡。

所述有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備可以進(jìn)一步包括環(huán)繞所述像素電極的邊緣并覆蓋所述源電極和漏電極的像素限定層。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種制造有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備的方法包括：執(zhí)行第一掩膜工藝，用于在基板上形成半導(dǎo)體層，并且用于通過圖案化所述半導(dǎo)體層形成薄膜晶體管的有源層；執(zhí)行第二掩膜工藝，用于在所述有源層上形成第一絕緣層、第一透明導(dǎo)電層和第一金屬層，并且用于通過圖案化所述第一透明導(dǎo)電層和所述第一金屬層形成像素電極的基底層和所述薄膜晶體管的柵電極；執(zhí)行第三掩膜工藝，用于在所述基底層和所述柵電極上形成第二絕緣層，并且用于通過圖案化所述第二絕緣層形成暴露所述基底層的第一透明導(dǎo)電層的第一開口，和暴露所述薄膜晶體管的源區(qū)和漏區(qū)的接觸孔；執(zhí)行第四掩膜工藝，用于在所述第一開口和所述接觸孔中形成第二金屬層，并且用于通過圖案化所述第二金屬層形成連接至所述源區(qū)和漏區(qū)的源電極和漏電極；并且執(zhí)行第五掩膜工藝，用于在所述源電極和漏電極上形成第三金屬層和第二透明導(dǎo)電層，并且用于通過圖案化所述第三金屬層和所述第二透明導(dǎo)電層來形成所述像素電極的上層以及所述源電極和漏電極的蓋層。