[發明專利]一種硅烷尾氣凈化裝置

無效

• 申請號: 201110243842.6
• 申請日: 2011-08-24
• 公開（公告）號: CN102954475A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 趙曉武
• 申請（專利權）人: 蘇州仕凈環保設備有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23J15/04;B01D47/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅烷尾氣凈化裝置，由燃燒塔和廢氣處理塔組成，其特征在于所述燃燒塔下部設置有進氣口，上部設置有出氣口，燃燒塔內設置有點火裝置；所述廢氣處理塔的底部設置有進風口，頂部設置有出風口，廢氣處理塔內部設置有由填料支撐網板及其上部的填料構成的填料層；所述填料層有兩個并上下設置，所述兩個填料層之間設置有噴嘴，所述噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連；所述燃燒塔的出氣口與廢氣處理塔的進風口相通。

2.根據權利要求1所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述廢氣處理塔內的填料層與進風口之間設置有第二噴嘴，所述第二噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連。

3.根據權利要求1或2所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述廢氣處理塔內的填料層中的填料為特拉瑞填料。

4.根據權利要求3所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述燃燒塔的下部為漏斗形，所述燃燒塔的底部設置有排污口。

5.根據權利要求3所述的硅烷尾氣凈化裝置，其特征在于所述燃燒塔設置有壓縮空氣充氣口和氮氣充氣口，所述壓縮空氣充氣口和氮氣充氣口均設置有流量控制器。