[發明專利]一種硅烷尾氣凈化裝置

無效

• 申請號: 201110243842.6
• 申請日: 2011-08-24
• 公開（公告）號: CN102954475A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 趙曉武
• 申請（專利權）人: 蘇州仕凈環保設備有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23J15/04;B01D47/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于廢氣處理領域，特別涉及到一種硅烷尾氣凈化裝置。

背景技術

電池片生產過程的PECVD(Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition-----等離子體增強化學氣相沉積法)環節中，會產生含有硅烷的尾氣。硅烷是一種無色、與空氣反應并會引起窒息的氣體，該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧，因此必須經過處理后才能排入大氣。傳統的硅烷尾氣處理方法是采用初步燃燒+直接通入水池的方法，有很高的危險性和處理不穩定性。

發明內容

本發明的目的是提出一種硅烷尾氣凈化裝置，以更好地處理硅烷尾氣。

本發明的硅烷尾氣凈化裝置由燃燒塔和廢氣處理塔組成，關鍵在于所述燃燒塔下部設置有進氣口，上部設置有出氣口，燃燒塔內設置有點火裝置；所述廢氣處理塔的底部設置有進風口，頂部設置有出風口，廢氣處理塔內部設置有由填料支撐網板及其上部的填料構成的填料層；所述填料層有兩個并上下設置，所述兩個填料層之間設置有噴嘴，所述噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連；所述燃燒塔的出氣口與廢氣處理塔的進風口相通。

硅烷尾氣由管道進入燃燒塔，經過燃燒塔內的初級燃燒處理后，再進入廢氣處理塔，并在塔內向上運動，噴嘴噴出的液滴向下運動，對廢氣進行洗滌。下部的填料層可以增大液體與氣體的接觸面積，使氣體與液滴充分接觸，達到徹底凈化效果。干凈的氣體經過上層的填料層脫水后排出。

進一步地，所述廢氣處理塔內的填料層與進風口之間設置有第二噴嘴，所述第二噴嘴通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連。這樣在廢氣經過下部的填料層之前時可以對廢氣進行初級降溫除塵，從而減少廢氣中的熱量及灰塵對填料層的影響。

進一步地，所述廢氣處理塔內的填料層中的填料為特拉瑞填料，特拉瑞填料是一種高效率，低壓損的填充材，外形猶如螺絲纏繞而成，其吸附效果優于管型填充材，且在同等體積下可降低40％～50％的靜壓損失，在同等壓降下體積可減少35％～50％，且空隙率大物質轉移系數高，其處理效率比其他型填充材提高26％～35％。

進一步地，所述燃燒塔的下部為漏斗形，所述燃燒塔的底部設置有排污口。硅烷燃燒后的粉塵會積聚在排污口處，當運行一段時間后，打開排污口進行清理粉塵。

進一步地，所述燃燒塔設置有壓縮空氣充氣口和氮氣充氣口，所述壓縮空氣充氣口和氮氣充氣口均設置有流量控制器。硅烷尾氣進入燃燒塔的同時也通入壓縮空氣和氮氣，壓縮空氣用來推助硅烷尾氣的燃燒反應，氮氣則用來吹散硅烷燃燒之后產生粉塵，不讓其粘到燃燒塔上。壓縮空氣及氮氣都配有流量控制器，以控制氣體的流入體積及速度。

本發明的硅烷尾氣凈化裝置結構簡單，處理集中化，成本低，操作維護方便，廢氣處理穩定、高效、徹底，適用于電池等行業的廢氣處理。

附圖說明

圖1是本發明的硅烷尾氣凈化裝置中的燃燒塔的結構示意圖。

圖2是本發明的硅烷尾氣凈化裝置中的廢氣處理塔的結構示意圖。

具體實施方式

下面對照附圖，通過對實施實例的描述，對本發明的具體實施方式如所涉及的各構件的形狀、構造、各部分之間的相互位置及連接關系、各部分的作用及工作原理等作進一步的詳細說明。

實施例1：

本實施例的硅烷尾氣凈化裝置由燃燒塔1和廢氣處理塔2組成.

如圖1所示，燃燒塔1下部設置有進氣口11，上部設置有出氣口12，燃燒塔內設置有點火裝置，燃燒塔1的下部為漏斗形，燃燒塔的底部設置有排污口13。

燃燒塔1設置有壓縮空氣充氣口14和氮氣充氣口15，壓縮空氣充氣口14和氮氣充氣口15均設置有流量控制器(圖中未畫出流量控制器及點火裝置)。

如圖2所示，廢氣處理塔2的底部設置有進風口21，頂部設置有出風口22，廢氣處理塔內部設置有由填料支撐網板及其上部的填料構成的填料層23、24；所述填料層23、24上下設置，填料層23、24之間設置有噴嘴25，噴嘴25通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連；廢氣處理塔內的填料層23與進風口21之間設置有第二噴嘴26，第二噴嘴26通過耐酸堿的管路及水泵與供水水箱相連(圖中未畫出水泵與供水水箱)。

燃燒塔的出氣口12與廢氣處理塔的進風口21相通。