[發明專利]結構制造方法和結構

無效

• 申請號: 201110243061.7
• 申請日: 2011-08-18
• 公開（公告）號: CN102555217A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 增原慎
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: B29C67/00
• 分類號: B29C67/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

技術領域

本公開涉及通過層疊膜狀材料來制造三維結構的方法并且涉及結構。

背景技術

在層疊式的立體光刻處理中，例如，存在液體表面調節法，其中使用光固化樹脂，并且在對于每層利用玻璃板來調節樹脂液體的液體表面的同時，利用透過玻璃板的光照射液體表面，由此形成具有極精確的膜厚的造型體。

然而在實際上，隨著成型體的面積(沿著平面方向觀察的面積)增加，由于固化而引起的、光固化樹脂沿著厚度方向的收縮量變大，這引起了這樣的問題：根據樹脂的種類，在平面中引起約數十個百分比的膜厚分布。此外，也產生了固化樹脂與玻璃板之間的粘合由于樹脂的收縮而很強的問題，并且因此難以執行將固化的樹脂從玻璃板剝離來進行液體表面調節的處理(剝離處理)。

鑒于此，提出了將形成為膜形狀的光敏材料進行層疊以對物體造型的膜層疊法。在膜層疊法中，膜材料的使用消除了調節液體表面的必要性。因此，不引起上述問題。此外，膜材料的處理比液體材料更容易，并且顯著地減少了清潔劑的使用量，這在安全和健康方面是有利的。

應當注意，例如，日本專利申請公報No.平7-227909公開了層疊光敏膜材料的造型法。

發明內容

附帶地，在對樹脂材料進行曝光后，有必要移除未曝光部分(在負性樹脂的情況下)來執行顯影。在樹脂材料是液體的情況下，容易利用清潔劑來移除要被移除的部分(下文中稱作移除目標部分)。然而，在膜層疊法中，因為膜材料是固態或半固態，所以存在移除目標部分難以被移除的問題。

特別地，難以移除在具有狹窄的寬度以及高的高寬比的凹槽或孔中的移除目標部分。在這種情況下，存在將膠帶手動地按壓到造型體上以移除殘留在凹槽或孔中的移除目標部分的方法。然而，通過這種方法，膠帶留下痕跡。此外，執行手動操作，這導致了差的生產率。

考慮到上述情況，期望提供一種結構制造方法并且提供通過結構制造法制造的結構，該方法具有能夠在膜層疊法中、在利用能量束選擇性地照射之后容易地移除膜的移除目標部分的技術。

根據本公開的實施例，提供了一種包括在基礎材料上層疊第一膜的結構制造方法，該方法包括在基礎材料上層疊第一膜。

根據基礎材料上的第一膜的表面的位置，利用能量束選擇性地照射第一膜以在第一膜上形成圖案的潛像。

在第一膜的表面上層疊第二膜。

將顯影劑提供給所述第二膜，并且將第一膜的、選擇性被移除的移除目標部分連同第二膜一起移除，由此對圖案進行顯影。

通過向第二膜提供顯影劑，第一膜的移除目標部分與第二膜一同被膨潤化，使得能夠容易地將膨潤化的移除目標部分與第二膜一同移除。因此，可以形成高精確度的圖案。

通過一個接一個地使用多個第一膜來重復在基礎材料上層疊第一膜的步驟。在這種情況下，在利用能量束至少照射最后層疊的第一膜之后，對于多個第一膜一同執行顯影。因此，沒有必要對于多個第一膜一個接一個地執行顯影，這可以顯著地減小制造時間段。多個第一膜可以被能量束一同照射或者可以被能量束一個接一個地照射。

第一膜和第二膜由相同材料制成。通過這種結構，沒有必要對于第一膜和第二膜使用由不同材料制造的膜，因此可以削減成本。此外，在實現使用該制造方法的制造設備的情況下，僅使用一個膜供應機構，使得可以簡化制造設備的結構。

結構制造方法還包括在層疊第二膜的步驟之后并且在顯影步驟之前，在基礎材料上執行第一膜和第二膜的加壓去沫。因此，可以增加第二膜與其下方的第一膜之間的粘合力，并且將膜更加物理地(機械地)結合，由此使得容易在顯影步驟中整體移除這兩個膜。

根據本公開的另一個實施例，提供了一種根據上述制造方法制造的結構。

如上所述，根據本公開的實施例，在膜層疊法中，在利用能量束選擇性地照射之后，可以容易地移除膜的移除目標部分。

根據以下如附圖所示的、本發明的最佳實施例的詳細描述，本發明的這些和其他的目的、特征和優點將會變得更加清楚。

附圖說明

圖1A-1C的圖以順序次序示出了根據本公開的實施例的制造結構(包括造型體)的方法；

圖2A-2C的圖示出了圖1中示出的制造方法之后的處理；

圖3的照片示出了通過根據本實施例的結構制造方法的分辨率改善的結果，并且是其中形成分辨率測試圖的結構的平面圖。

圖4是通過相比較的制造方法制造的結構的平面照片；并且

圖5A-5C的圖以順序次序示出了相比較的制造方法。

具體實施方式