[發明專利]甩版清洗機及光刻版的清洗方法

無效

• 申請號: 201110241637.6
• 申請日: 2011-08-22
• 公開（公告）號: CN102357481A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 王友旺;裴新;林盛浩;胡華
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;F26B21/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

【技術領域】

本發明涉及半導體制造設備，尤其涉及一種甩版清洗機。

【背景技術】

光刻掩膜版(mask，以下簡稱光刻版)在使用后需要定期進行清洗。

傳統的洗版機是通過兩排軟質毛刷分別對光刻版的正反兩面進行刷洗，通 過電機、齒輪等部件實現上下往復運動，同時電磁閥控制去離子水進行沖洗。

洗好的光刻版表面殘留有水漬，需要用花籃裝好放到高溫烘箱烘干，但即 使烘干后仍有可能有水印留在光刻版表面，影響下一次的光刻質量。甚至在送 到烘箱的過程中有二次玷污的可能，有較大質量隱患。另外，清洗+烘箱烘干需 要較長的時間，影響生產效率。

【發明內容】

基于此，有必要提供一種能將光刻版清洗干凈，且效率較高的甩版清洗機。

一種甩版清洗機，包括甩版清洗機控制電路、驅動裝置、光刻版夾持裝置、 出水閥、噴水頭、出氣閥、噴氣頭、加熱裝置以及管線；所述驅動裝置通過轉 軸與所述光刻版夾持裝置連接，所述甩版清洗機控制電路與所述驅動裝置、出 水閥、出氣閥以及加熱裝置電連接，用于控制所述驅動裝置驅動光刻版夾持裝 置繞所述轉軸旋轉，還用于控制所述出水閥、出氣閥的開關以及控制加熱裝置 加熱；所述管線包括水管和氣管，所述出水閥通過水管與噴水頭連接，所述噴 水頭用于將清洗用液體噴射在光刻版夾持裝置夾持的光刻版上；所述出氣閥通 過氣管順次與加熱裝置和噴氣頭連接，所述噴氣頭用于將被加熱裝置加熱后的 氣體噴向所述光刻版。

優選的，還包括用于容置光刻版夾持裝置的容置腔，所述容置腔的底部開 設有排水口和用于供所述轉軸通過的轉軸口。

優選的，所述容置腔包括開設有圓環槽的上蓋和圓柱形的腔體，所述上蓋 蓋合于所述腔體的頂部；所述上蓋開設有位于圓環槽內的圓孔，所述上蓋還包 括導軌和可沿所述導軌滑動的透明拉門。

優選的，所述腔體的材質為不銹鋼。

優選的，所述光刻版夾持裝置為十字形結構，所述十字形結構的中心與所 述轉軸連接，所述十字形結構的四端均設有夾持部，所述夾持部開設有與方形 的光刻版四個角配合的直角缺口。

優選的，所述夾持部采用彈性材質，與光刻版為過盈配合。

優選的，所述夾持部的材質為特氟龍。

優選的，所述甩版清洗機控制電路包括開關(S1)、第一繼電器、第二繼電 器、轉速控制器(118)、沖水定時器(T1)以及甩干定時器(T2)；所述甩版清 洗機控制電路還包括所述沖水定時器相應配備的常開觸點(T11)和常閉觸點 (T12)，以及所述甩干定時器相應配備的常閉觸點(T22)；所述第一繼電器和 第二繼電器均包括線圈和觸點；所述轉速控制器(118)用于控制所述驅動裝置 的轉速；所述開關(S1)、第一繼電器的線圈(CR10)以及沖水定時器的常閉觸 點(T22)串聯于火線與零線之間；所述第一繼電器的觸點(CR13)用于控制 第一單元的上電，所述第一單元包括所述沖水定時器(T1)、第二繼電器的線圈 (CR20)以及轉速控制器(118)，且所述第二繼電器的線圈(CR20)與所述甩 干定時器相應配備的常閉觸點(T12)串聯；所述第二繼電器的觸點(CR27) 用于控制所述出水閥的上電；所述沖水定時器相應配備的常開觸點(T11)用于 控制第二單元的上電，所述第二單元包括所述甩干定時器(T2)、出氣閥以及加 熱裝置。

還有必要提供一種光刻版的清洗方法。