[發(fā)明專利]甩版清洗機及光刻版的清洗方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110241637.6
• 申請日: 2011-08-22
• 公開（公告）號: CN102357481A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發(fā)明（設計）人: 王友旺;裴新;林盛浩;胡華
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳深愛半導體股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;F26B21/00
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種甩版清洗機，其特征在于，包括甩版清洗機控制電路、驅(qū)動裝置、 光刻版夾持裝置、出水閥、噴水頭、出氣閥、噴氣頭、加熱裝置以及管線；

所述驅(qū)動裝置通過轉(zhuǎn)軸與所述光刻版夾持裝置連接，所述甩版清洗機控制 電路與所述驅(qū)動裝置、出水閥、出氣閥以及加熱裝置電連接，用于控制所述驅(qū) 動裝置驅(qū)動光刻版夾持裝置繞所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，還用于控制所述出水閥、出氣閥 的開關以及控制加熱裝置加熱；

所述管線包括水管和氣管，所述出水閥通過水管與噴水頭連接，所述噴水 頭用于將清洗用液體噴射在光刻版夾持裝置夾持的光刻版上；所述出氣閥通過 氣管順次與加熱裝置和噴氣頭連接，所述噴氣頭用于將被加熱裝置加熱后的氣 體噴向所述光刻版。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甩版清洗機，其特征在于，還包括用于容置光刻 版夾持裝置的容置腔，所述容置腔的底部開設有排水口和用于供所述轉(zhuǎn)軸通過 的轉(zhuǎn)軸口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的甩版清洗機，其特征在于，所述容置腔包括開設 有圓環(huán)槽的上蓋和圓柱形的腔體，所述上蓋蓋合于所述腔體的頂部；所述上蓋 開設有位于圓環(huán)槽內(nèi)的圓孔，所述上蓋還包括導軌和可沿所述導軌滑動的透明 拉門。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的甩版清洗機，其特征在于，所述腔體的材質(zhì)為不 銹鋼。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甩版清洗機，其特征在于，所述光刻版夾持裝置 為十字形結(jié)構(gòu)，所述十字形結(jié)構(gòu)的中心與所述轉(zhuǎn)軸連接，所述十字形結(jié)構(gòu)的四 端均設有夾持部，所述夾持部開設有與方形的光刻版四個角配合的直角缺口。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的甩版清洗機，其特征在于，所述夾持部采用彈性 材質(zhì)，與光刻版為過盈配合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的甩版清洗機，其特征在于，所述夾持部的材質(zhì)為 特氟龍。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的甩版清洗機，其特征在于，所述甩版清洗機控制 電路包括開關(S1)、第一繼電器、第二繼電器、轉(zhuǎn)速控制器(118)、沖水定時 器(T1)以及甩干定時器(T2)；所述甩版清洗機控制電路還包括所述沖水定時 器相應配備的常開觸點(T11)和常閉觸點(T12)，以及所述甩干定時器相應配 備的常閉觸點(T22)；所述第一繼電器和第二繼電器均包括線圈和觸點；所述 轉(zhuǎn)速控制器(118)用于控制所述驅(qū)動裝置的轉(zhuǎn)速；

所述開關(S1)、第一繼電器的線圈(CR10)以及沖水定時器的常閉觸點 (T22)串聯(lián)于火線與零線之間；

所述第一繼電器的觸點(CR13)用于控制第一單元的上電，所述第一單元 包括所述沖水定時器(T1)、第二繼電器的線圈(CR20)以及轉(zhuǎn)速控制器(118)， 且所述第二繼電器的線圈(CR20)與所述甩干定時器相應配備的常閉觸點(T12) 串聯(lián)；

所述第二繼電器的觸點(CR27)用于控制所述出水閥的上電；

所述沖水定時器相應配備的常開觸點(T11)用于控制第二單元的上電，所 述第二單元包括所述甩干定時器(T2)、出氣閥以及加熱裝置。

9.一種光刻版的清洗方法，其特征在于，采用甩版清洗機進行清洗，所述 甩版清洗機包括甩版清洗機控制電路、驅(qū)動裝置、光刻版夾持裝置、出水閥、 噴水頭、出氣閥、噴氣頭、加熱裝置以及管線；所述甩版清洗機控制電路與所 述驅(qū)動裝置、出水閥、出氣閥以及加熱裝置電連接，用于控制所述驅(qū)動裝置驅(qū) 動光刻版夾持裝置繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，控制所述出水閥、出氣閥的開關以及控制加熱 裝置加熱；所述管線包括水管和氣管，所述出水閥通過水管與噴水頭連接，所 述噴水頭用于將清洗用液體噴射在光刻版夾持裝置夾持的光刻版上；所述出氣 閥通過氣管順次與加熱裝置和噴氣頭連接，所述噴氣頭用于將加熱裝置加熱后 的氣體噴向所述光刻版；

所述清洗方法包括沖水步驟和甩干步驟，所述沖水步驟是通過所述甩版清 洗機控制電路控制驅(qū)動裝置將光刻版夾持裝置的轉(zhuǎn)速維持在700～900轉(zhuǎn)/分鐘， 同時控制所述出水閥打開以通過噴水頭噴射清洗用液體對光刻版進行清洗；所 述甩干步驟是通過所述甩版清洗機控制電路控制驅(qū)動裝置將光刻版夾持裝置的 轉(zhuǎn)速維持在2000～2400轉(zhuǎn)/分鐘，同時控制所述出氣閥打開以通過加熱裝置將氣 體加熱到180～220℃，通過噴氣頭噴出加熱后的氣體對光刻版進行烘干。