[發明專利]容器保管設備

有效

• 申請號: 201110239763.8
• 申請日: 2011-08-19
• 公開（公告）號: CN102376529A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 飯塚雪夫;柴田優
• 申請（專利權）人: 株式會社大福
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 崔幼平;楊楷

1.?一種容器保管設備，具備運送用于收容基板的容器的運送機構，和保管由上述運送機構運送的容器的容器保管部，其特征在于，

上述容器保管部具備：以固定狀態設置的固定框體，和在保管上述容器的保管位置以及在與上述運送機構之間收受上述容器的收受位置的范圍內相對于上述固定框體移動自如地設置的容器支撐體；

設有氣體供給機構，通過氣體供給管向由位于上述保管位置的上述容器支撐體支撐的上述容器供給惰性氣體；

上述氣體供給管具備設在上述固定框體一側的固定側部分，以及與上述容器支撐體一體移動自如地設在上述容器支撐體一側的移動側部分；

設有連結體，通過上述容器支撐體從上述收受位置向上述保管位置的移動而連結上述固定側部分與上述移動側部分，并且通過上述容器支撐體從上述保管位置向上述收受位置的移動而解除上述固定側部分與上述移動側部分的連結，使上述移動側部分離開上述固定側部分。

2.?如權利要求1所述的容器保管設備，其特征在于，還具備：

檢測上述容器支撐體位于上述保管位置的保管位置檢測機構；

檢測容器由上述容器支撐體支撐的支撐狀態檢測機構；

惰性氣體供給控制機構，基于上述保管位置檢測機構以及上述支撐狀態檢測機構的檢測信息，在上述容器支撐體位于上述保管位置、且容器由上述容器支撐體支撐的情況下，容許上述氣體供給管進行的惰性氣體的供給，在上述容器支撐體未位于上述保管位置或者容器未由上述容器支撐體支撐的情況下，禁止上述氣體供給管進行的惰性氣體的供給。

3.?如權利要求1或2所述的容器保管設備，其特征在于，

上述連結體具備：可動噴嘴，其設在上述固定側部分以及上述移動側部分的一側，在上述保管位置與上述收受位置之間的上述容器支撐體的移動方向上進退移動自如，并且由施力機構施力而向突出側復位；和凹入部，其設在上述固定側部分以及上述移動側部分的另一側，上述可動噴嘴在其中插拔自如；

在上述可動噴嘴上具備內部流路，在上述可動噴嘴插入上述凹入部中的狀態下連通上述固定側部分的固定側氣體流路與上述移動側部分的移動側氣體流路，惰性氣體在該內部流路中沿著上述容器支撐體的移動方向流通自如；

具備密封體，在上述可動噴嘴插入上述凹入部的狀態下將上述凹入部與上述可動噴嘴之間密封。

4.?如權利要求3所述的容器保管設備，其特征在于，

上述內部流路由在上述容器支撐體的移動方向上貫通上述可動噴嘴的內部的直線狀的流路構成。

5.?如權利要求3所述的容器保管設備，其特征在于，

上述內部流路具備：直線狀的第1流路部分，在上述容器支撐體的移動方向上從上述可動噴嘴的突出側端部連通到后退側端部之前；和第2流路部分，在上述容器支撐體的移動方向上，上述可動噴嘴的后退側，在上述可動噴嘴的徑向上連通上述第1流路部分與上述可動噴嘴的外部；

具備封堵開放機構，在上述容器支撐體位于上述收受位置的情況下封堵上述第2流路部分，并且在上述容器支撐體位于上述保管位置的情況下開放上述第2流路部分。

6.?如權利要求1或2所述的容器保管設備，其特征在于，

上述運送機構由沿著經由相對于上述容器保管部的容器收受部位的移動路徑移動自如、且具備保持容器的保持部的物品運送用的移動車構成；

上述保管位置設定在相對于上述移動路徑離開的位置；

上述收受位置設定在比上述保管位置更接近上述移動路徑的位置；

設有支撐上述容器支撐體在上述保管位置與上述收受位置之間位置變更自如的容器支撐體支撐機構，和接近停止在上述容器收受部位的上述移動車的接近位置與離開停止在上述容器收受部位的上述移動車的離開位置之間移動自如的被操作體；

上述被操作體與上述容器支撐體支撐機構聯動，從而在上述接近位置將上述容器支撐體操作到上述保管位置，并且在上述離開位置將上述容器支撐體操作到上述收受位置；

上述移動車具備推拉操作式的操作機構，通過從上述移動車向突出的一側的移動，將上述被操作體從上述接近位置推動操作到上述離開位置，并且通過向上述移動車后退的一側的移動，將上述被操作體從上述離開位置拉回操作到上述接近位置。

7.?如權利要求6所述的容器保管設備，其特征在于，

上述移動路徑以及上述固定框體設在天花板一側；

上述容器支撐體支撐機構由將上述容器支撐體的上端部相對于上述固定框體滑動自如地垂吊支撐的滑動導向機構構成；

上述容器支撐體構成為自如地載置支撐容器，并且構成為以從其移動方向看過去左右方向的中央部由上述滑動導向機構垂吊支撐的狀態移動自如；

上述固定框體形成為從上述容器支撐體的移動方向看過去左右方向的長度比上述容器支撐體相同方向上的長度短；

上述被操作體配置在從上述容器支撐體的移動方向看過去為上述固定框體的左右方向的一側；

上述氣體供給管的上述連結體配置在從上述容器支撐體的移動方向看過去為上述固定框體的左右方向的另一側；

上述氣體供給管的上述移動側部分配置在從上述容器支撐體的移動方向看過去為上述容器支撐體的左右方向的另一側的橫向旁側。