[發明專利]具有空檢測能力的基于襯里的液體儲存和分配系統

有效

• 申請號: 201110233868.2
• 申請日: 2006-04-25
• 公開（公告）號: CN102423665A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 明娜·霍維寧;約翰·R·金格里;格倫·M·湯姆;凱文·T·奧多爾蒂;柯克·米克爾森;唐納德·D·韋爾;彼得·C·范巴斯柯克
• 申請（專利權）人: 高級技術材料公司;東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B01J4/02
• 分類號: B01J4/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丙林;張英

本申請是申請日為2006年4月25日、申請號為200680022747.0、發明名稱為“具有空檢測能力的基于襯里的液體儲存和分配系統”中國專利申請的分案申請。

相關申請的交叉引用

本申請涉及2005年4月25日以Glenn?M.Tom，John?Kingery，Kevin?O′Dougherty，Kirk?Mikkelsen和Michelle?Alberg的名義提交的標題為“″ZERO?HEAD?SPACE/MINIMAL?HEAD?SPACE?LINER-BASED?LIQUID?STORAGE?AND?DISPENSING?SYSTEMS?ADAPTED?FOR?PRESSURE?DISPENSING″的美國臨時專利申請60/674,578和2006年1月24日以Glenn?M.Tom等人的名義提交的標題為″MATERIAL?STORAGE?AND?DISPENSING?PACKAGES?AND?METHODS″的美國臨時專利申請60/761,608以及2005年4月25日以Minna?Hovinen，John?Kingery，Glenn?M.Tom，Kevin?O′Dougherty，Kirk?Mikkelsen，Donald?Ware和Peter?Van?Buskirk的名義提交的標題為″LINER-BASED?LIQUID?STORAGE?AND?DISPENSING?SYSTEMS?WITH?EMPTY?DETECTION?CAPABILITY″的美國臨時專利申請60/674,579和2005年4月25日以Weihua?Wang，David?Bernhard，Thomas?H.Baum，Greg?Mlynar?and?Minna?Hovinen的名義提交的標題為″APPARATUS?AND?PROCESS?FOR?STORAGE?AND?DISPENSING?OF?CHEMICAL?REAGENTS?AND?COMPOSITIONS″的美國臨時專利申請60/674,577。所有這些臨時專利申請的公開內容在此以其各自的全部內容結合于此作為參考。

技術領域

本發明涉及用于儲存與分配化學試劑和組合物，例如用于制造微電子器件產品的高純液體試劑和化學機械拋光組合物(拋光劑)的基于襯里的液體容納系統，其具有在分配操作期間在所容納的液體處于或接近耗盡時的空檢測的能力。

背景技術

在許多工業應用中，化學試劑和組合物都需要以高純狀態供應，并且已經開發了專用包裝，以確保所供應的材料在整個包裝填充、儲存、運輸和最后的分配操作中維持純的和合適的形式。

在微電子器件制造領域，對于各種各樣的液體和含液體組合物尤其迫切需要合適的包裝，因為在所包裝的材料中的任何污染物，和/或任何環境污染物進入到包裝內容納(容納)的材料中，可有害地影響利用這樣的液體或含液體組合物制造的微電子器件產品，使得微電子器件產品產生缺陷或甚至對其所計劃的用途變得無用。

出于這些因素的考慮，許多類型的高純包裝已經開發出來，用于微電子器件制造中所用的液體和含液體組合物，如光刻膠、蝕刻劑、化學氣相沉積劑、溶劑、晶片和設備清洗制劑、化學機械拋光劑等。

已進入這樣的應用的高純包裝的一種類型包括，包含在柔性襯里或袋中容納液體或液體-基組合物的剛性外包裝，該襯里或袋通過保留結構(retaining?structure)如蓋子或覆蓋物被固定在剛性外包裝的適當位置。這種包裝通常稱之為“盒套袋(bag-in-box)”包裝。該包裝的剛性外包裝，例如可以由高密度聚乙烯或其他聚合物或金屬形成，而襯里可以作為聚合物膜材料如聚四氟乙烯(PTFE)、低密度聚乙烯、PTFE-基多層結構、聚氨酯等的預清潔的、消毒的可折疊袋提供，選擇這些材料以對該襯里所容納的液體或液體基材料呈惰性。這種類型的包裝可以以商標NOWPAK從ATMI?Inc.(Danbury，CT，USA)商購獲得。

在涉及這樣的液體和液體-基組合物的襯里包裝的分配操作中，通過將包括汲取管的分配組件連接至該襯里的端口，其中汲取管浸沒在所容納的液體中，液體就從襯里進行分配。在分配組件如此連接于襯里之后，流體壓力就施加到襯里的外表面，使得襯里逐漸收縮并迫使液體通過用于釋放到相關流路的分配組件而流到最終使用位置。

已經證明，采用的襯里包裝中的頂空(容器中液面上空間，head?space)最小，并且優選為零頂空是有利的，以便抑制該液體或液體基組合物中的顆粒和微氣泡的產生。