[發明專利]具有空檢測能力的基于襯里的液體儲存和分配系統

有效

• 申請號: 201110233868.2
• 申請日: 2006-04-25
• 公開（公告）號: CN102423665A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 明娜·霍維寧;約翰·R·金格里;格倫·M·湯姆;凱文·T·奧多爾蒂;柯克·米克爾森;唐納德·D·韋爾;彼得·C·范巴斯柯克
• 申請（專利權）人: 高級技術材料公司;東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B01J4/02
• 分類號: B01J4/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丙林;張英

1.一種流體供應系統，包括：

基于內襯的流體儲存和分配包裝，其包括適于容納液體介質的襯里；

適于對所述襯里外部地施加壓力的加壓元件，用于從所述襯里壓力介導分配所述液體介質；以及

空檢測傳感器，布置用于在所述壓力介導分配期間監控從所述襯里分配的液體介質，并產生指示所述液體介質從所述襯里開始耗盡的輸出信號，其中所述空檢測傳感器包括以下中的至少一個：

(a)適于監控從所述襯里分配的液體介質的壓力從而檢測壓降或延遲的壓力開關或壓力傳感器；和

(b)布置用于監控從所述襯里分配的液體介質的流速的集成流量計。

2.根據權利要求1所述的流體供應系統，其中所述空檢測傳感器包括適于監控從所述襯里分配的液體介質的壓力從而檢測壓降或延遲的壓力開關或壓力傳感器。

3.根據權利要求1所述的流體供應系統，其中所述空檢測傳感器包括布置用于監控從所述襯里分配的液體介質的流速的集成流量計。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的流體供應系統，其中所述加壓元件包括加壓氣體源。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的流體供應系統，其中所述加壓元件包括適于將加壓流體遞送到所述包裝的內部容積從而對所述襯里施加壓力的流體加壓傳動裝置。

6.根據權利要求1至3中任一項所述的流體供應系統，其中所述空檢測傳感器操作地連接于控制器，所述控制器用于使所述流體儲存和分配包裝獨立從而使其能夠在檢測到指示所述液體介質從所述襯里開始耗盡的狀態時切換出。

7.根據權利要求6所述的流體供應系統，進一步包括第二流體儲存和分配包裝，所述第二流體儲存和分配包裝包括適于容納液體介質的襯里，其中所述第二流體儲存和分配包裝布置成連續分配。

8.根據權利要求1至3中任一項所述的流體供應系統，其中所述襯里容納微電子器件制造中使用的含液體組合物，其選自由光刻膠、蝕刻劑、化學氣相沉積劑、溶劑、晶片和設備清潔制劑、以及化學機械拋光組合物組成的組。

9.根據權利要求1至3中任一項所述的流體供應系統，其中所述流體儲存和分配包裝包括RFID標簽，所述RFID標簽布置為與(a)所述空檢測傳感器和(b)處理控制器中的至少一個聯通。

10.一種將液體介質從基于襯里的流體儲存和分配包裝供應到使用位置的方法，所述基于襯里的流體儲存和分配包裝包括容納所述液體介質的襯里，所述方法包括：

對所述襯里施加外部壓力以從所述襯里分配所述流體；以及

在所述壓力介導分配期間利用空檢測傳感器監控從所述襯里分配的所述液體介質并產生指示所述液體介質從所述襯里開始耗盡的輸出信號，其中所述空檢測傳感器包括以下中的至少一個：

(a)適于監控從所述襯里分配的液體介質的壓力從而檢測壓降或延遲的壓力開關或壓力傳感器；和

(b)布置用于監控從所述襯里分配的液體介質的流速的集成流量計。

11.根據權利要求10所述的方法，包括使用壓力開關或壓力傳感器以監控從所述襯里分配的液體介質的壓力，從而檢測壓降或延遲。

12.根據權利要求10所述的方法，包括使用布置用于監控從所述襯里分配的液體介質的流速的集成流量計。

13.根據權利要求10所述的方法，進一步包括接入另一個基于襯里的流體儲存和分配包裝從而實現將液體介質連續分配到所述使用位置。

14.一種流體儲存和分配系統，包括：

第一流體儲存和分配包裝，其包括容納液體介質的第一襯里；

第二流體儲存和分配包裝，其包括容納液體介質的第二襯里；以及

空檢測傳感器，布置用于傳感與從所述第一流體儲存和分配包裝分配液體介質相關的狀況以及產生指示所述液體介質從所述第一儲存和分配包裝開始耗盡的輸出信號；

其中所述系統適于響應所述輸出信號而實現從所述第一流體儲存和分配包裝轉換到所述第二流體儲存和分配包裝，從而提供連續的分配操作。

15.根據權利要求14所述的流體儲存和分配系統，其中所述空檢測傳感器包括以下中的至少一個：

(a)適于監控從所述襯里分配的液體介質的壓力從而檢測壓降或延遲的壓力開關或壓力傳感器；和

(b)布置用于監控從所述襯里分配的液體介質的流速的集成流量計。