[發明專利]成膜掩模有效
| 申請號： | 201110230279.9 | 申請日： | 2011-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN102373409A | 公開（公告）日： | 2012-03-14 |
| 發明（設計）人： | 唐木哲也 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;H05B33/10;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 歐陽帆 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 成膜掩模 | ||
【權利要求書】：
1.一種成膜掩模，包括被固定到框體的金屬箔，其中在一個方向上比在其它方向上更強的張力被施加到所述金屬箔，其中：
所述金屬箔包括在所述一個方向上延長的縫隙狀開口，所述縫隙狀開口在縫隙狀開口的短邊方向上被重復地設置；以及
每個縫隙狀開口的至少一個端部的形狀關于縫隙狀開口的短邊的中心線不對稱。
2.根據權利要求1所述的成膜掩模，其中縫隙狀開口的兩個端部的形狀關于縫隙狀開口的短邊的中心線不對稱而關于縫隙狀開口的長邊的中心線對稱。
3.一種制造有機電致發光顯示裝置的方法，包括：
在襯底上形成多個第一電極；
使用成膜掩模在所述多個第一電極上形成有機化合物層；以及
在所述有機化合物層上形成第二電極，
其中形成有機化合物層包括形成多個條帶狀的膜，所述多個條帶狀的膜具有其中條帶在短邊的方向上重復的圖形，所述條帶的端部的形狀關于所述短邊的中心線不對稱。
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