[發(fā)明專利]一種新型的常壓等離子體自由基清洗噴槍進氣方式

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110228262.X
• 申請日: 2011-08-10
• 公開（公告）號: CN102931050A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 王守國;賈少霞;趙玲利
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;B08B7/00;H05H1/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型的常壓等離子體自由基清洗噴槍進氣方式，由三層隔板組成，噴槍上端為進氣口，下端為噴口，周圍用金屬板密閉，等離子體放電電極由射頻電極和接地電極組成，噴槍等離子放電對進氣均勻性要求嚴格，本發(fā)明設計的噴槍進氣方式以降低氣流沖擊力為前提，使氣體均勻進入噴槍放電縫隙，保證放電均勻穩(wěn)定，其特征在于：進氣方式由三層金屬板組成，三層隔板不同位置開縫隙，形成縫隙交錯間隔的格局，當工作氣體進入噴槍后，先通過第一層隔板，第一層隔板兩側開狹縫，氣流在第一層隔板的阻擋下，沖擊力下降，并從兩側縫隙流出，第二層隔板中間開狹縫，從第一層隔板進入的工作氣體被第二層隔板阻擋，形成渦流，沖擊力再次下降，氣流流速逐漸均勻，第三層隔板與第一層隔板一樣，兩側開狹縫，氣流被第三層隔板均勻分流到兩側流出進氣系統(tǒng)，進入射頻電極與接地電極之間的放電區(qū)域。

2.如權利1所述的常壓等離子體自由基清洗噴槍進氣方式，其特征在于：由三層不同位置開縫隙的金屬隔板組成，第一層隔板和第三層隔板兩側各開0.5mm的縫隙，第二層隔板中間開1mm的縫隙，第一層和第二層隔板作用是降低氣流沖擊力，第三層隔板的作用是均勻分流工作氣體。

3.如權利1所述的常壓等離子體自由基清洗噴槍進氣方式，其特征在于：三層隔板的制作簡單，另外由于隔板采用金屬材料，不會對放電工作氣體造成有機物污染。