[發明專利]旋轉涂布制程的成膜裝置

無效

• 申請號: 201110227135.8
• 申請日: 2011-08-09
• 公開（公告）號: CN102921603A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發明（設計）人: 李志鴻;郭子豪
• 申請（專利權）人: 錸德科技股份有限公司
• 主分類號: B05C9/14
• 分類號: B05C9/14;B05C13/02
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 朱凌

1.一種旋轉涂布制程的成膜裝置，其特征在于，包含：

一旋轉裝置，具有至少一旋轉平臺，一基材置放于旋轉平臺上，涂料披覆于該基材的表面；

一加熱裝置，設置于該旋轉平臺上方。

2.如權利要求1所述旋轉涂布制程的成膜裝置，其特征在于，該加熱裝置包含有：

至少一加熱體結構，該加熱體結構對基材的邊緣部份提供熱能；?

一偵測單元，該偵測單元偵測基材的溫度。

3.如權利要求2所述旋轉涂布制程的成膜裝置，其特征在于：該加熱體結構還包含有一紅外線熱源。

4.如權利要求2所述旋轉涂布制程的成膜裝置，其特征在于：該加熱體結構還包含有一熱風輸送口。

5.如權利要求2所述旋轉涂布制程的成膜裝置，其特征在于：該偵測單元為一熱像儀。