[發明專利]液處理裝置及噴嘴的啟動加注處理方法

有效

• 申請號: 201110225604.2
• 申請日: 2011-08-03
• 公開（公告）號: CN102343317A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 田代佳
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/00;B05C11/10;B05C13/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種液處理裝置，其具備將藥液從噴出口噴出的長條狀的噴嘴，和使所述基板相對于所述噴嘴相對移動的相對移動單元，該液處理裝置的特征在于，

包括：

配置于所述液處理裝置的局部、用于對所述基板進行藥液的液處理準備的啟動加注輥；

能夠使所述噴嘴的噴出口與所述啟動加注輥的正上方對峙的噴嘴移動機構；

和配置于向所述噴嘴供給藥液的藥液供給路徑中，且能夠將從所述噴嘴噴出的藥液暫時吸引的減壓單元，其中，

通過所述噴嘴移動機構，沿所述啟動加注輥的長度方向的正上方，使所述噴嘴的噴出口對峙，在實施將藥液噴出在所述啟動加注輥上的啟動加注處理的狀態下，通過所述減壓單元，能夠實施將噴出在啟動加注輥上的藥液暫時吸引在噴嘴一側的操作。

2.如權利要求1所述的液處理裝置，其特征在于：

所述減壓單元是設置在所述噴嘴與從該噴嘴將藥液噴出的泵之間的藥液供給路徑中的能夠暫時擴大空間容積的回吸閥。

3.一種液處理裝置，其具備將藥液從噴出口噴出的長條狀的噴嘴，和使所述基板相對于所述噴嘴相對移動的相對移動單元，該液處理裝置的特征在于，

包括：

配置于所述液處理裝置的局部，用于對所述基板進行藥液的液處理準備的啟動加注輥；

能夠使所述噴嘴的噴出口與所述啟動加注輥的正上方對峙的噴嘴移動機構；和

對所述噴嘴移動機構的操作和藥液的噴出操作進行控制的控制部，其中，

所述控制部進行以下控制：通過所述噴嘴移動機構，沿所述啟動加注輥的長度方向的正上方，使所述噴嘴的噴出口對峙，將藥液噴出在所述啟動加注輥上，之后，一邊在所述噴嘴與所述啟動加注輥之間維持連續的積液，一邊使所述噴嘴上升至規定高度后停止，之后，使所述啟動加注輥旋轉來進行所述噴嘴的斷液。

4.一種啟動加注處理方法，其是液處理裝置中的噴嘴的啟動加注處理方法，其特征在于：

具備將藥液從噴出口噴出的長條狀的噴嘴，和使所述基板相對于所述噴嘴相對移動的相對移動單元，

所述啟動加注處理方法包括：在沿啟動加注輥的長度方向的正上方，在使所述噴嘴的噴出口對峙的狀態下，通過所述噴嘴將藥液噴出在所述啟動加注輥上，使藥液介于所述噴嘴與所述啟動加注輥之間的間隙的著液步驟；

將噴出在所述啟動加注輥上的藥液暫時吸引在噴嘴一側的回吸步驟；和

通過旋轉驅動所述啟動加注輥，將介于所述間隙中的藥液繞涂在所述啟動加注輥一側，解除藥液介于噴嘴和啟動加注輥之間的狀態，使其成為斷液狀態的繞涂步驟。

5.如權利要求4所述的啟動加注處理方法，其特征在于：

在所述回吸步驟的實行中，開始所述繞涂步驟。

6.如權利要求4所述的啟動加注處理方法，其特征在于：

在所述繞涂步驟中，在繼所述啟動加注輥向一個方向的旋轉動作后，實施啟動加注輥的逆向旋轉操作，至少在所述啟動加注輥的向一個方向的旋轉操作過程中，實施所述回吸步驟。

7.如權利要求4所述的啟動加注處理方法，其特征在于：

在所述繞涂步驟結束時，使所述啟動加注輥的旋轉速度加快，形成所述斷液狀態。

8.如權利要求4所述的啟動加注處理方法，其特征在于：

在所述繞涂步驟結束時，通過將所述噴嘴與所述啟動加注輥的水平方向的距離離開的操作而成為所述斷液狀態。

9.如權利要求4所述的啟動加注處理方法，其特征在于：

在所述著液步驟實施后，實施將所述噴嘴與所述啟動加注輥之間的間隙縮小的操作，在所述回吸步驟實施后，使所述噴嘴與所述啟動加注輥之間的間隙恢復至所述著液步驟實施時的狀態，開始所述繞涂步驟。

10.如權利要求9所述的啟動加注處理方法，其特征在于：

在所述繞涂步驟結束時，通過加快所述啟動加注輥的旋轉速度，成為所述斷液狀態。