[發(fā)明專(zhuān)利]多晶爐紅外測(cè)溫裝置及采用多晶爐紅外測(cè)溫裝置的多晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110224326.9
• 申請(qǐng)日: 2011-08-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102286778A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳學(xué)軍;周凱平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 寧夏日晶新能源裝備股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B28/06
• 分類(lèi)號(hào): C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 銀川長(zhǎng)征知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 64102
• 代理人: 馬長(zhǎng)增

技術(shù)領(lǐng)域：

本發(fā)明涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多晶爐紅外測(cè)溫裝置及采用多晶爐紅外測(cè)溫裝置的多晶爐。

背景技術(shù)：

多晶爐是多晶硅料轉(zhuǎn)化為多晶硅錠工藝過(guò)程中的必備設(shè)備，而多晶硅錠經(jīng)工藝處理后又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。多晶硅錠作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料?，F(xiàn)有的多晶爐都會(huì)用到多晶爐紅外測(cè)溫裝置，其中多晶爐紅外測(cè)溫裝置作用如下：在多晶硅鑄錠過(guò)程中，經(jīng)過(guò)溶化、長(zhǎng)晶、退火工序時(shí)，都需根據(jù)工藝控制腔體內(nèi)溫度，紅外測(cè)溫儀可測(cè)得腔體內(nèi)溫度，有效的減少了鑄錠成本，同時(shí)方便了操作者的使用。

然而，現(xiàn)有的多晶爐紅外測(cè)溫裝置存在如下問(wèn)題：在的作業(yè)過(guò)程中，肉眼觀測(cè)時(shí)，需取出紅外測(cè)溫儀，安裝目鏡觀測(cè)，極大的浪費(fèi)了操作者的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容：

有鑒于此，有必要提供一種操作簡(jiǎn)單及能夠節(jié)省操作者的操作時(shí)間的多晶爐紅外測(cè)溫裝置。

還有必要提供一種采用該多晶爐紅外測(cè)溫裝置的多晶爐。

一種多晶爐紅外測(cè)溫裝置，包括溫度計(jì)基架、第一鏡、第二鏡、螺塞、石英棒、檢測(cè)套桿、紅外測(cè)溫儀、元件承載部。溫度計(jì)基架固定在多晶爐的腔體的上法蘭上，其中，溫度計(jì)基架包括固定座、觀察筒及密封座，固定座固定在腔體的上法蘭上，固定座的中心開(kāi)設(shè)有觀察孔及穿入孔，觀察筒的一端固定在固定座上且與觀察孔同心設(shè)置。密封座固定在觀察筒的另一端。密封座上開(kāi)設(shè)有通孔，且通孔與觀察筒的觀察孔同心設(shè)置，第一鏡安裝在密封座的通孔內(nèi)。螺塞旋在溫度計(jì)基架的固定座上，且與固定座上的穿入孔同心。石英棒穿過(guò)螺塞及穿入孔后插在石英坩堝中。檢測(cè)套桿通過(guò)卡箍與溫度計(jì)基架的觀察筒連通。元件承載部設(shè)置在在溫度計(jì)基架上，用于承載第二鏡、紅外測(cè)溫儀，且將第二鏡、紅外測(cè)溫儀置于密封座正上方。

一種采用多晶爐紅外測(cè)溫裝置的多晶爐，包括腔體、熱場(chǎng)、石英坩堝及多晶爐紅外測(cè)溫裝置，石英坩堝安裝在熱場(chǎng)內(nèi)的托盤(pán)上，熱場(chǎng)裝在腔體內(nèi)，多晶爐紅外測(cè)溫裝置固定在腔體的上法蘭上。多晶爐紅外測(cè)溫裝置包括溫度計(jì)基架、第一鏡、第二鏡、螺塞、石英棒、檢測(cè)套桿、紅外測(cè)溫儀、元件承載部。溫度計(jì)基架固定在多晶爐的腔體的上法蘭上，其中，溫度計(jì)基架包括固定座、觀察筒及密封座，固定座固定在腔體的上法蘭上，固定座的中心開(kāi)設(shè)有觀察孔及穿入孔，觀察筒的一端固定在固定座上且與觀察孔同心設(shè)置。密封座固定在觀察筒的另一端。密封座上開(kāi)設(shè)有通孔，且通孔與觀察筒的觀察孔同心設(shè)置，第一鏡安裝在密封座的通孔內(nèi)。螺塞旋在溫度計(jì)基架的固定座上，且與固定座上的穿入孔同心。石英棒穿過(guò)螺塞及穿入孔后插在石英坩堝中。檢測(cè)套桿通過(guò)卡箍與溫度計(jì)基架的觀察筒連通。元件承載部設(shè)置在在溫度計(jì)基架上，用于承載第二鏡、紅外測(cè)溫儀，且將第二鏡、紅外測(cè)溫儀置于密封座正上方。

本發(fā)明提供的多晶爐紅外測(cè)溫裝置及采用多晶爐紅外測(cè)溫裝置的多晶爐，在利用多晶爐紅外測(cè)溫裝置測(cè)量多晶爐的爐內(nèi)溫度時(shí)，只需將紅外測(cè)溫儀安放在溫度計(jì)基架上就可測(cè)得多晶爐的爐內(nèi)溫度，需要觀察爐內(nèi)情況時(shí)，只需將第二鏡安放在溫度計(jì)基架上就可觀測(cè)到多晶爐的爐內(nèi)情況，故該多晶爐紅外測(cè)溫裝置安裝、操作方便，進(jìn)而降低操作者的工作時(shí)間。

附圖說(shuō)明：

附圖1是一較佳實(shí)施方式的多晶爐的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖2是圖1中多晶爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖3是圖2中多晶爐紅外測(cè)溫裝置的放大圖。

附圖4是圖1中多晶爐紅外測(cè)溫裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖5是另一較佳實(shí)施方式的多晶爐紅外測(cè)溫裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖6是圖5中多晶爐紅外測(cè)溫裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：多晶爐10、腔體20、熱場(chǎng)30、石英坩堝40、硅料50、多晶爐紅外測(cè)溫裝置60、溫度計(jì)基架61、固定座611、觀察筒612、密封座613、第一鏡63、第二鏡64、螺塞65、石英棒66、檢測(cè)套桿67、紅外測(cè)溫儀68、元件承載部69、旋轉(zhuǎn)軸座691、旋轉(zhuǎn)軸692、測(cè)溫儀安裝板693、連接塊694、鏡座695、多晶爐紅外測(cè)溫裝置80、溫度計(jì)基架81、第一鏡83、第二鏡84、螺塞85、石英棒86、檢測(cè)套桿87、紅外測(cè)溫儀88、元件承載部89

具體實(shí)施方式：