[發明專利]多晶爐紅外測溫裝置及采用多晶爐紅外測溫裝置的多晶爐

有效

• 申請號: 201110224326.9
• 申請日: 2011-08-08
• 公開（公告）號: CN102286778A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 吳學軍;周凱平
• 申請（專利權）人: 寧夏日晶新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 銀川長征知識產權代理事務所 64102
• 代理人: 馬長增

1.一種多晶爐紅外測溫裝置，其特征在于：多晶爐紅外測溫裝置包括溫度計基架、第一鏡、第二鏡、螺塞、石英棒、檢測套桿、紅外測溫儀、元件承載部；溫度計基架固定在多晶爐的腔體的上法蘭上，其中，溫度計基架包括固定座、觀察筒及密封座，固定座固定在腔體的上法蘭上，固定座的中心開設有觀察孔及穿入孔，觀察筒的一端固定在固定座上且與觀察孔同心設置，密封座固定在觀察筒的另一端；密封座上開設有通孔，且通孔與觀察筒的觀察孔同心設置，第一鏡安裝在密封座的通孔內；螺塞旋在溫度計基架的固定座上，且與固定座上的穿入孔同心；石英棒穿過螺塞及穿入孔后插在石英坩堝中；檢測套桿通過卡箍與溫度計基架的觀察筒連通；元件承載部設置在在溫度計基架上，用于承載第二鏡、紅外測溫儀，且將第二鏡、紅外測溫儀置于密封座正上方。

2.根據權利要求1所述的多晶爐紅外測溫裝置，其特征在于：元件承載部設置在在溫度計基架的固定座上，元件承載部包括旋轉軸座、旋轉軸、測溫儀安裝板、連接塊、鏡座；旋轉軸座固定在溫度計基架的固定座上，旋轉軸旋在旋轉軸座上，其中螺塞位于旋轉軸座與觀察筒之間；測溫儀安裝板的一端固定在旋轉軸的上端，測溫儀安裝板的中部設置有限位部，測溫儀安裝板的另一端開設有安裝孔，紅外測溫儀安裝在測溫儀安裝板上的安裝孔中；連接塊安裝在旋轉軸的側面，鏡座的一端固定在連接塊上，鏡座的中部設置有限位部，鏡座的另一端開設有安裝孔，第二鏡安放在鏡座的安裝孔內。

3.根據權利要求2所述的多晶爐紅外測溫裝置，其特征在于：鏡座與測溫儀安裝板成直角設置。

4.根據權利要求1所述的多晶爐紅外測溫裝置，其特征在于：元件承載部設置在密封座上，元件承載部為圓筒狀，元件承載部與密封座的通孔同心設置。

5.一種采用多晶爐紅外測溫裝置的多晶爐，包括腔體、熱場、石英坩堝及多晶爐紅外測溫裝置，石英坩堝安裝在熱場內的托盤上，熱場裝在腔體內，多晶爐紅外測溫裝置固定在腔體的上法蘭上，其特征在于：多晶爐紅外測溫裝置包括溫度計基架、第一鏡、第二鏡、螺塞、石英棒、檢測套桿、紅外測溫儀、元件承載部；溫度計基架固定在多晶爐的腔體的上法蘭上，其中，溫度計基架包括固定座、觀察筒及密封座，固定座固定在腔體的上法蘭上，固定座的中心開設有觀察孔及穿入孔，觀察筒的一端固定在固定座上且與觀察孔同心設置，密封座固定在觀察筒的另一端，密封座上開設有通孔，且通孔與觀察筒的觀察孔同心設置，第一鏡安裝在密封座的通孔內；螺塞旋在溫度計基架的固定座上，且與固定座上的穿入孔同心；石英棒穿過螺塞及穿入孔后插在石英坩堝中；檢測套桿通過卡箍與溫度計基架的觀察筒連通；元件承載部設置在在溫度計基架上，用于承載第二鏡、紅外測溫儀，且將第二鏡、紅外測溫儀置于密封座正上方。

6.根據權利要求5所述的采用多晶爐紅外測溫裝置的多晶爐，其特征在于：元件承載部設置在在溫度計基架的固定座上，元件承載部包括旋轉軸座、旋轉軸、測溫儀安裝板、連接塊、鏡座；旋轉軸座固定在溫度計基架的固定座上，旋轉軸旋在旋轉軸座上，其中螺塞位于旋轉軸座與觀察筒之間；測溫儀安裝板的一端固定在旋轉軸的上端，測溫儀安裝板的中部設置有限位部，測溫儀安裝板的另一端開設有安裝孔，紅外測溫儀安裝在測溫儀安裝板上的安裝孔中；連接塊安裝在旋轉軸的側面，鏡座的一端固定在連接塊上，鏡座的中部設置有限位部，鏡座的另一端開設有安裝孔，第二鏡安放在鏡座的安裝孔內。

7.根據權利要求6所述的采用多晶爐紅外測溫裝置的多晶爐，其特征在于：鏡座與測溫儀安裝板成直角設置。

8.根據權利要求5所述的采用多晶爐紅外測溫裝置的多晶爐，其特征在于：元件承載部設置在密封座上，元件承載部為圓筒狀，元件承載部與密封座的通孔同心設置。