[發明專利]光照射裝置和光照射方法

有效

• 申請號: 201110222281.1
• 申請日: 2011-08-04
• 公開（公告）號: CN102419516A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 仲田重范;川村直樹
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B5/30
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 夏斌;陳萍

技術領域

本發明涉及用于形成線狀圖案的光照射裝置和光照射方法，更具體地，涉及在例如圖案化相位差薄膜的制造工序中用于向光聚合性液晶材料或光取向膜照射光的適當的光照射裝置和光照射方法。

背景技術

3D影像顯示裝置是顯現三維立體影像的裝置，作為這種3D影像顯示裝置，以往開發出劇場用的裝置和電視放映用的裝置，在今后期待用于娛樂設施、店鋪展示、醫療等用途，因此近年來引人注目。

圖20是表示3D影像顯示裝置的一個例子的構成的概況的說明圖。該3D影像顯示裝置的構成包括：交替配置右眼用影像發送部81和左眼用影像發送部82的液晶(LCD)制的3D影像發送部80；在該3D影像發送部80的前方設置的、由以位于右眼用影像發送部81的前方的方式配置的右眼用影像顯示部86和以位于左眼用影像發送部82的前方的方式配置的左眼用影像顯示部87所構成的3D影像顯示體形成用薄膜85；和在3D影像發送部80的后方設置的光源88。該3D影像顯示裝置從右眼用影像發送部81發送右眼用影像，并且從左眼用影像發送部82發送左眼用影像，例如，右眼用影像被導入右眼用影像顯示部86而原樣被送至觀察者，左眼用影像被導入左眼用影像顯示部87而在將偏振光的振動方向旋轉90°之后被送至觀察者。而且，采用以下構成，觀察者通過經由僅使右眼用影像透射的帶偏振光片右眼用透鏡和僅使左眼用影像透射的帶偏振光片左眼用透鏡所構成的偏振光眼鏡來捕捉該偏振光的振動方向不同的右眼用影像和左眼用影像，從而在該觀察者處將左眼用影像和右眼用影像的合成影像識別為一個立體影像。該3D影像顯示裝置在例如專利文獻1中記載。

而且，在3D影像顯示裝置中，通過在觀察者的左眼和右眼分別識別左眼用影像和右眼用影像，來在觀察者的腦內識別立體影像，但是，為了區別左眼用影像和右眼用影像，而使用了圖案化相位差薄膜。

此外，在液晶顯示裝置等中，作為提高其性能的方法，提出了使用具有液晶聚合物層的圖案化相位差薄膜的方案(參照專利文獻2)。

如圖21(a)所示，對于在薄膜基材90上經取向膜91而形成的光聚合性液晶材料層92，經將線狀的多個遮光部96和多個透光部97分別交替并排地配置而成的掩模95來照射光，從而如圖21(b)所示，形成帶狀的圖案的液晶聚合物層93，然后，除去殘留的光聚合性液晶材料層92而得到這種圖案化相位差薄膜。

在這種圖案化相位差薄膜的制造中，為了通過將紫外線等活性能量線對光聚合性液晶材料層92在大范圍內照射而提高量產性，而通常使用具備長弧型放電燈的光照射裝置，將掩模95配置成遮光部96和透光部97延伸的方向(在圖21中與紙面垂直的方向)與長弧型放電燈的長度方向正交。

但是，在這種光照射裝置中，存在以下的問題。

即，由于長弧型放電燈是線光源，因此不能通過光學系統使從放電燈放射的光成為在該放電燈的長度方向上互相平行的平行光。因此，如圖22所示，經透射掩模95的透光部97的光的一部分向掩模95在與其面方向斜交地入射，而向位于作為被照射物的光聚合性液晶材料層92的遮光部96的緣部的正下的區域照射，其結果，難以在掩模95的圖案中形成具有忠實且析像度高的圖案的液晶聚合物層93。

專利文獻1：日本特開2002-185983號公報

專利文獻2：日本特開2009-276664號公報

發明內容

本發明鑒于上述問題而完成，其目的是提供能在掩模的圖案中形成忠實且析像度高的圖案的光照射裝置和光照射方法。

本發明的光照射裝置，其特征在于，具備：光射出部，所述光射出部具有將多個光源元件在一個方向上并排地配置而構成的光源元件列，所述光源元件由短弧型放電燈、和以包圍該放電燈的方式配置的將來自該放電燈的光反射的反射體構成；和掩模，所述掩模將分別在與上述一個方向垂直的方向上延伸的線狀的多個遮光部和多個透光部在上述一個方向上交替并排地配置而構成，來自上述光射出部的光經上述掩模而照射在被照射物上。

在本發明的光照射裝置中，優選的是，在上述光射出部和上述掩模之間的光路上配置有偏振元件。

此外，優選的是，還具備聚光部件，所述聚光部件將來自上述光射出部的光聚光為在上述一個方向上延伸的線狀而經上述掩模照射在上述被照射物上。

另外，也可以是，上述反射體是具有以其光軸為中心的旋轉拋物面狀的光反射面的部件，上述聚光部件由具有剖面為拋物線狀的光反射面的圓柱形反射鏡構成。

再有，也可以是，上述反射體是具有以其光軸為中心的旋轉拋物面狀的光反射面的部件，上述聚光部件具有圓柱形凸透鏡。