[發明專利]光照射裝置和光照射方法

有效

• 申請號: 201110222281.1
• 申請日: 2011-08-04
• 公開（公告）號: CN102419516A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 仲田重范;川村直樹
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B5/30
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 夏斌;陳萍

1.一種光照射裝置，其特征在于，具備：

光射出部，所述光射出部具有將多個光源元件在一個方向上并排地配置而構成的光源元件列，所述光源元件由短弧型放電燈、和以包圍該放電燈的方式配置的將來自該放電燈的光反射的反射體構成；和

掩模，所述掩模將分別在與上述一個方向垂直的方向上延伸的線狀的多個遮光部和多個透光部在上述一個方向上交替并排地配置而構成，

來自上述光射出部的光經上述掩模而照射在被照射物上。

2.根據權利要求1所述的光照射裝置，其特征在于：

在上述光射出部和上述掩模之間的光路上配置有偏振元件。

3.根據權利要求1或2所述的光照射裝置，其特征在于：

還具備聚光部件，所述聚光部件將來自上述光射出部的光聚光為在上述一個方向上延伸的線狀而經上述掩模照射在上述被照射物上。

4.根據權利要求3所述的光照射裝置，其特征在于：

上述反射體是具有以其光軸為中心的旋轉拋物面狀的光反射面的部件，上述聚光部件由具有剖面為拋物線狀的光反射面的圓柱形反射鏡構成。

5.根據權利要求3所述的光照射裝置，其特征在于：

上述反射體是具有以其光軸為中心的旋轉拋物面狀的光反射面的部件，上述聚光部件具有圓柱形凸透鏡。

6.根據權利要求3所述的光照射裝置，其特征在于：

上述反射體是具有以其光軸為中心的旋轉橢圓面狀的光反射面的部件，上述聚光部件由具有剖面為橢圓狀的光反射面的圓柱形反射鏡、和多個圓柱形凸透鏡構成，所述圓柱形凸透鏡與上述光射出部的光源元件對應地在上述一個方向上并排地配置。

7.根據權利要求1所述的光照射裝置，其特征在于：

上述光射出部具有分別在同一方向上延伸的至少兩個的光源元件列，這些光源元件列配置為，連接一個光源元件列所涉及的光源元件中的放電燈的電極間中心點、和最接近該光源元件的另一光源元件列所涉及的光源元件中的放電燈的電極間中心點的直線與在上述一個方向上延伸的直線斜交。

8.根據權利要求1所述的光照射裝置，其特征在于：

具有將上述被照射物沿上述掩模的透光部延伸的方向輸送的輸送構件。

9.根據權利要求8所述的光照射裝置，其特征在于：

上述被照射物是薄膜狀物質，上述輸送構件具有與上述被照射物接觸地進行輸送的輥，向上述被照射物的與上述輥接觸的部位照射光。

10.根據權利要求1或2所述的光照射裝置，其特征在于：

上述反射體是具有以其光軸為中心的旋轉拋物面狀的光反射面的部件，

配置有平面反射鏡，所述平面反射鏡將來自上述光射出部的光作為在上述一個方向上延伸的帶狀的光而向上述掩模反射。

11.根據權利要求1所述的光照射裝置，其特征在于：

上述被照射物是相位差薄膜制造用的光聚合性液晶材料或取向膜材料。

12.一種光照射方法，其特征在于：

使從具有將多個光源元件在一個方向上并排地配置而構成的光源元件列的光射出部射出的光，經掩模而照射在被照射物上，所述光源元件由短弧型放電燈、和以包圍該放電燈的方式配置的將來自該放電燈的光反射的反射體構成，所述掩膜將分別在與上述一個方向垂直的方向上延伸的線狀的多個遮光部和多個透光部在上述一個方向上交替并排地配置而構成。

13.根據權利要求12所述的光照射方法，其特征在于：

通過在上述光射出部和上述掩模之間的光路上配置的偏振元件來照射偏振光。

14.根據權利要求12或13所述的光照射方法，其特征在于：

將來自上述光射出部的光通過聚光部件聚光為在上述一個方向上延伸的線狀，將該已聚光的光經上述掩模而照射在被照射物上。

15.根據權利要求12所述的光照射方法，其特征在于：

在將上述被照射物沿上述掩模的透光部延伸的方向輸送的同時，向該被照射物照射光。