[發明專利]氟化氬光掩模盒運送裝置和方法

無效

• 申請號: 201110222121.7
• 申請日: 2011-08-04
• 公開（公告）號: CN102431727A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 毛智彪;王劍;戴韞青
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種用于運送存放掩模板的氟化氬光掩模盒的裝置，其特征在于，其至少包括：

一氟化氬光掩模板運送小車，小車上放置至少一個氟化氬光掩模盒，小車上還有一個安全氣柜用以存放已放置惰性氣體源的氣體鋼瓶，氣體鋼瓶與氟化氬光掩模盒之間使用氣體管路連接。

2.如權利要求1所述的氟化氬光掩模盒運送裝置，其特征在于氣體鋼瓶使用安全帶固定在安全氣柜內。

3.如權利要求1所述的氟化氬光掩模盒運送裝置，其特征在于氣體鋼瓶內置的惰性氣體源為二氧化碳和氮氣。

4.如權利要求1所述的氟化氬光掩模盒運送裝置，其特征在于安全氣柜有柜門和觀察視窗。

5.如權利要求1所述的氟化氬光掩模盒運送裝置，其特征在于氣體鋼瓶與氟化氬光掩模盒之間的氣體管路上有控制閥和流量表。

6.如權利要求1所述的氟化氬光掩模盒運送裝置，其特征在于氟化氬光掩模盒底面的兩個入口帶有過濾膜。

7.如權利要求1所述的氟化氬光掩模盒運送裝置，其特征在于氟化氬光掩模盒底面的兩個入口接口為單向閥。

8.一種使用如權利要求1所述氟化氬光掩模盒運送裝置進行運送存放掩模板的氟化氬光掩模盒的方法，其步驟為：

1）打開內置惰性氣體源的控制閥，調整惰性氣體源的壓力和流量，

2)將氟化氬光掩模盒從光刻機或氟化氬光掩模盒存儲柜中取出，放置在氟化氬光掩模盒運送小車上，

3)用氟化氬光掩模盒運送小車將氟化氬光掩模盒運送到目的地（光刻機或氟化氬光掩模盒存儲柜），

4)將氟化氬光掩模盒放入光刻機或氟化氬光掩模盒存儲柜中，

5)關閉內置惰性氣體源的控制閥。