[發明專利]一種卡類產品芯片碎裂的無損檢測方法無效
| 申請號: | 201110221356.4 | 申請日: | 2011-08-03 |
| 公開(公告)號: | CN102338857A | 公開(公告)日: | 2012-02-01 |
| 發明(設計)人: | 張濤 | 申請(專利權)人: | 上海華碧檢測技術有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/303 | 分類號: | G01R31/303 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 200433 上海市楊*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 類產品 芯片 碎裂 無損 檢測 方法 | ||
【權利要求書】:
1.一種卡類產品芯片碎裂的無損檢測方法,其特征在于:該方法包括以下步驟:
A、取一片卡類樣品進行卡類結構截面確認,確認在芯片塑封料和塑料基片之間是否存在空隙,如果沒有空隙,則跳至步驟D,如果有空隙,則繼續下述步驟;
B、從塑料基片一面開始研磨該卡類樣品,研磨至塑料基片被磨光,內部的芯片塑封料露出來;
C、繼續研磨,直至將塑封料磨平;
D、使用超聲掃描顯微鏡進行無損分析,檢查芯片是否存在碎裂現象;
E、部分開蓋,驗證超聲掃描顯微鏡的掃描結果。
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