[發明專利]一種用于移動石墨舟上半導體晶粒的裝置

有效

• 申請號: 201110217430.5
• 申請日: 2011-08-01
• 公開（公告）號: CN102263050A
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 葛永明;韋德富;任志龍;張洪海
• 申請（專利權）人: 蘇州固锝電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種用于移動石墨舟上半導體晶粒的裝置，其特征在于：包括：內設有空腔的把手（1）、大蓋板（2）、至少一個小蓋板（3）、上固定板（4）和下固定板（5）；所述把手（1）一端設有一與所述空腔連通的氣嘴（6），此把手（1）下表面設有至少一個與所述空腔連通的第一通氣孔（7）；所述小蓋板（3）上設有第一凹槽（8），此第一凹槽（8）底部與小蓋板（3）上表面之間設有與所述第一通氣孔（7）相應的第二通氣孔（9），此第二通氣孔（9）與所述第一通氣孔（7）通過氣體連接管（10）連通；

大蓋板（2）設有第二凹槽（11），此大蓋板（2）的上表面與所述小蓋板（3）的下表面接觸從而由所述第一凹槽（8）形成第一空腔，此第二凹槽（11）底部與大蓋板（2）上表面之間設有連通所述第一空腔的第三通氣孔（12）；

所述上固定板（4）上表面設有與所述第二凹槽（11）相應的第三凹槽（13）和位于此第三凹槽（13）一側并位于所述上固定板（4）下表面的限位凸臺（14）；此上固定板（4）上表面與所述大蓋板（2）下表面接觸從而由所述第二凹槽（11）和第三凹槽（13）形成第二空腔；此第三凹槽（13）底部與上固定板（4）下表面之間設有若干個連通所述第二空腔的第四通氣孔（15），此第四通氣孔內（15）固定地設置有固定氣嘴（16），所述限位凸臺（14）具有螺絲孔；

所述下固定板設有與所述第四通氣孔（15）相應的通孔（17）和螺絲沉頭孔（18），一活動氣嘴（19）嵌入此通孔（17），此活動氣嘴（19）一端用于吸附位于所述石墨舟上半導體晶粒，其另一端與固定氣嘴（16）之間通過軟管（20）連通；一螺絲旋入所述限位凸臺（14）的螺絲孔和螺絲沉頭孔（18）內，從而固定所述上固定板（4）和下固定板（5）并形成一定的距離。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述下固定板（5）兩端并位于其下表面上分別設有用于定位的定位銷釘（21）。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述下固定板（5）的下表面位于所述通孔（17）一側設有腰型槽（22）。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述第三凹槽（13）內設有具有螺絲孔的螺絲孔凸臺（23），一螺絲固定連接所述大蓋板（2）和上固定板（4）的螺絲孔凸臺（23）。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述大蓋板（2）和上固定板（4）通過位于其各自兩端的螺絲和螺孔固定連接。