[發明專利]保持裝置及基板斷開裝置

有效

• 申請號: 201110215554.X
• 申請日: 2011-07-25
• 公開（公告）號: CN102399053A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 岡島康智;池田健一郎
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;B28D1/22
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 孟銳

技術領域

本發明涉及一種保持呈立起姿勢的平板狀工件的保持裝置、及具有該保持裝置的基板斷開裝置。

背景技術

以前，已知有如下的基板斷開裝置：以水平狀態將形成著刻劃線(scribe?line)的母板固定，并且利用配置在母板的上下的斷開單元，使母板沿著刻劃線斷開(例如，專利文獻1)。

[先行技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2006-289625號公報

發明內容

[發明所要解決的問題]

如上所述，專利文獻1中僅記載了以水平狀態將平板狀工件固定的技術，而沒有以立起姿勢將該工件固定的任何相關記載。結果，若僅采用專利文獻1中記載的工件的固定技術，則會產生無法良好地將立起姿勢的工件固定的問題。

因此，本發明的目的在于，提供一種能良好地保持呈立起姿勢的平板狀工件的保持裝置、及具有該保持裝置的基板斷開裝置。

[解決問題的技術手段]

為了解決上述問題，技術方案1所述的發明是一種對呈立起姿勢的平板狀工件進行保持的保持裝置，其特征在于，包含：保持單元，對于呈立起姿勢的所述工件的外緣部進行接觸保持；及，非接觸保持單元，設置成與所述保持單元相向，對于由所述保持單元所接觸保持的所述工件的主面進行非接觸保持；且，所述非接觸保持單元包含：安裝臺，設置成鉛垂面與所述保持單元相向；及多個吸引部，各自設置在所述安裝臺的所述鉛垂面上，通過拉近相向的呈立起姿勢的所述工件，而以非接觸狀態保持所述工件。

另外，技術方案2所述的發明是一種使形成著刻劃線的脆性材料基板沿著所述刻劃線斷開的基板斷開裝置，其特征在于，包含：保持單元，通過對包含所述脆性材料基板的工件的外緣部進行接觸保持，而以立起姿勢的狀態固定平板狀的所述工件；非接觸保持單元，設置成與所述保持單元相向，且對由所述保持單元所接觸保持的所述工件的主面進行非接觸保持；及，斷開單元，沿著所述刻劃線，使呈由所述保持單元及所述非接觸保持單元保持的狀態的所述脆性材料基板斷開；且，所述非接觸保持單元包含：安裝臺，設置成鉛垂面與所述保持單元相向；多個第1吸引部，各自以沿著所述安裝臺上所形成的長孔的長度方向兩側的狀態，設在所述安裝臺的鉛垂面上，且通過拉近相向的所述工件來以非接觸狀態保持所述工件；及，多個第2吸引部，各自以從兩側夾著多個第1吸引部的狀態設置在所述安裝臺的鉛垂面上，通過拉近相向的所述工件來以非接觸狀態保持工件；且，所述多個第1吸引部配置得比所述第2吸引部更密集，所述斷開單元包含：第1斷開棒(break?bar)，沿著所述安裝臺的所述長孔而在一個方向延伸，并且以經過所述長孔而到達所述保持單元側的方式進退；及第2斷開棒，夾著所述保持單元上所保持的所述脆性材料基板，設置在所述第1斷開棒的相反側，且在與所述第1斷開棒平行的方向延伸；在所述第1及第2斷開棒的延伸方向和所述刻劃線大致平行的狀態下，所述第1及第2斷開棒接近于所述脆性材料基板，所述脆性材料基板由所述第1及第2斷開棒夾著，這樣，使呈立起姿勢的所述脆性材料基板沿著所述刻劃線斷開。

另外，根據技術方案2所述的基板斷開裝置，技術方案3所述的發明的特征在于：所述多個第1吸引部中的鄰接的兩者之間的第1間隔小于所述多個第2吸引部中的鄰接兩者之間的第2間隔。

另外，根據技術方案2或者技術方案3所述的基板斷開裝置，技術方案4所述的發明的特征在于：所述第1及第2吸引部是伯努利吸盤(Bernoulli?Chuck)。

[發明的效果]

根據技術方案1至技術方案4所述的發明，不僅可對工件的外緣部進行接觸保持，而且也可利用非接觸保持單元來對工件的主面進行非接觸保持。因此，即便在根據工件的特性而無法對工件的外緣部以外的部位(例如，工件的主面)進行接觸保持時，也可通過使用保持單元及非接觸保持單元而良好地保持工件。

而且，根據技術方案2至技術方案4所述的發明，設置在第1斷開棒附近的多個第1吸引部配置得比多個第2吸引部更密集。因此，可更加切實地對第1斷開棒附近的工件進行非接觸保持。因此，可良好地執行脆性材料基板的斷開。

附圖說明

圖1是表示本發明的實施方式中的基板斷開裝置的構成的一例的正視圖。

圖2是表示本發明的實施方式中的基板斷開裝置的構成的一例的后視圖。

圖3是表示工件的構成的一例的正視圖。

圖4是表示姿勢變更單元的構成的一例的側視圖。

圖5是表示姿勢變更單元的構成的一例的俯視圖。