[發明專利]保持裝置及基板斷開裝置

有效

• 申請號: 201110215554.X
• 申請日: 2011-07-25
• 公開（公告）號: CN102399053A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 岡島康智;池田健一郎
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/02
• 分類號: C03B33/02;B28D1/22
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 孟銳

1.一種保持裝置，保持呈立起姿勢的平板狀工件，其特征在于，包含：

(a)保持單元，對于呈立起姿勢的所述工件的外緣部進行接觸保持；及

(b)非接觸保持單元，設置成與所述保持單元相向，對于由所述保持單元所接觸保持的所述工件的主面進行非接觸保持；且

所述非接觸保持單元包含：

(b-1)安裝臺，設置成鉛垂面與所述保持單元相向；及

(b-2)多個吸引部，各自設置在所述安裝臺的所述鉛垂面上，通過拉近相向的呈立起姿勢的所述工件，而以非接觸狀態保持所述工件。

2.一種基板斷開裝置，使形成著刻劃線的脆性材料基板沿著所述刻劃線斷開，其特征在于，包含：

(a)保持單元，通過對包含所述脆性材料基板的工件的外緣部進行接觸保持，而以立起姿勢的狀態固定平板狀的所述工件；

(b)非接觸保持單元，設置成與所述保持單元相向，且對由所述保持單元所接觸保持的所述工件的主面進行非接觸保持；及

(c)斷開單元，沿著所述刻劃線，使呈由所述保持單元及所述非接觸保持單元保持的狀態的所述脆性材料基板斷開；且

所述非接觸保持單元包含：

(b-1)安裝臺，設置成鉛垂面與所述保持單元相向；

(b-2)多個第1吸引部，各自以沿著所述安裝臺上所形成的長孔的長度方向兩側的狀態，設在所述安裝臺的鉛垂面上，且通過拉近相向的所述工件來以非接觸狀態保持所述工件；及

(b-3)多個第2吸引部，各自以從兩側夾著多個第1吸引部的狀態設置在所述安裝臺的鉛垂面上，且通過拉近相向的所述工件來以非接觸狀態保持工件；且所述多個第1吸引部配置得比所述第2吸引部更密集，

所述斷開單元包含：

(c-1)第1斷開棒，沿著所述安裝臺的所述長孔而在一個方向延伸，并且以經過所述長孔而到達所述保持單元側的方式進退；及

(c-2)第2斷開棒，夾著所述保持單元上所保持的所述脆性材料基板而設置在所述第1斷開棒的相反側，且在與所述第1斷開棒平行的方向延伸；

在所述第1及第2斷開棒的延伸方向與所述刻劃線大致平行的狀態下，所述第1及第2斷開棒接近于所述脆性材料基板，所述脆性材料基板被所述第1及第2斷開棒夾著，這樣，使呈立起姿勢的所述脆性材料基板沿著所述刻劃線斷開。

3.根據權利要求2所述的基板斷開裝置，其特征在于：

所述多個第1吸引部中的鄰接的兩者之間的第1間隔小于所述多個第2吸引部中的鄰接的兩者之間的第2間隔。

4.根據權利要求2或者權利要求3所述的基板斷開裝置，其特征在于：

所述第1及第2吸引部是伯努利吸盤。