[發明專利]主動元件及具有此主動元件的電泳顯示器

有效

• 申請號: 201110215424.6
• 申請日: 2011-07-25
• 公開（公告）號: CN102263135A
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 丘兆仟;李明賢;彭佳添
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;G02F1/167
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王穎

技術領域

本發明涉及一種主動元件，且特別是有關于一種具有富硅氧化物保護層的主動元件。

背景技術

近年來，由于各種顯示技術不斷地蓬勃發展，在經過持續地研究開發之后，如電泳顯示器、液晶顯示器、等離子顯示器、有機發光二極管顯示器等產品，已逐漸地商業化并應用于各種尺寸以及各種面積的顯示裝置。隨著可攜式電子產品的日益普及，可撓性顯示器(如電子紙(e-paper)、電子書(e-book)等)已逐漸受到市場的關注。一般而言，電子紙(e-paper)以及電子書(e-book)采用電泳顯示技術來達到顯示的目的。以僅能顯示黑白的電子書為例，其電泳顯示薄膜(EPD?film)主要是由黑色電泳液以及摻雜于黑色電泳液中的白色帶電粒子所構成，通過施加電壓的方式可以驅動白色帶電粒子移動，以使電泳顯示薄膜顯示出黑色、白色或是不同階調的灰色。此外，在彩色的電子書中，為了顯示紅、綠、藍三原色，需將摻雜有白色帶電粒子的紅色電泳液、綠色電泳液以及藍色電泳液形成于不同的微杯(micro-cups)中，公知的做法主要有兩種，其中一種是通過用噴墨印刷的方式將不同顏色的電泳液形成于微杯中，另一種則是通過多道曝光顯影工藝將不同顏色的電泳液密封于微杯中。

由于電泳顯示器屬于反射式的顯示器，因此不論是黑白還是彩色的電子書，都需要環境光的照射才能顯示畫面。值得注意的是，由于電泳顯示器中所使用的電泳顯示薄膜無法完全遮蔽環境光，因此當電泳顯示器被環境光照射時，用以驅動電泳顯示薄膜的薄膜晶體管陣列會產生光漏電流(photo?leakage?current)，進而導致電泳顯示薄膜的顯示異常。

為了上述的改善光漏電流的問題，已有公知技術在薄膜晶體管上額外制作遮光金屬，此遮光金屬的制作會使工藝所需使用的掩膜的數量增加，進而造成成本上的負擔以及產能的降低。此外，亦有公知技術直接采用金屬材質(例如鉬/鋁/鉬)來制作像素電極，以使像素電極具有遮光的效果，但此做法會面臨金屬腐蝕(corrosion)等問題。

發明內容

本發明提供一種主動元件與具有此主動元件的電泳顯示器。

本發明提供一種主動元件，其包括一柵極、一通道層、一柵絕緣層、一源極、一漏極以及一富硅氧化物保護層。柵絕緣層配置于柵極與信道層之間，源極與漏極分別與信道層接觸，且信道層的部分區域未被源極與漏極所覆蓋。通道層位于富硅氧化物保護層與柵極之間，而富硅氧化物保護層至少遮蔽未被源極與漏極所覆蓋的信道層的部分區域，且富硅氧化物保護層的穿透率低于或等于70％。

本發明另提供一種電泳顯示器，其包括一主動元件陣列基板以及一電泳顯示薄膜。主動元件陣列基板具有多個前述的主動元件以及多個像素電極，其中各個主動元件分別與其中一像素電極電性連接，電泳顯示薄膜則配置于主動元件陣列基板上。

在本發明的一實施例中，前述的主動元件可進一步包括一無機保護層，此無機保護層配置于富硅氧化物保護層與通道層之間。

在本發明的一實施例中，前述的主動元件可進一步包括一無機保護層與一有機保護層，無機保護層配置于富硅氧化物保護層與通道層之間，且有機保護層配置于富硅氧化物保護層上。

在本發明的一實施例中，前述的主動元件可進一步包括一有機保護層，此有機保護層配置于富硅氧化物保護層上。

在本發明的一實施例中，前述的富硅氧化物保護層的厚度例如介于1000埃至6000埃之間。

在本發明的一實施例中，前述的富硅氧化物保護層僅分布于未被源極與漏極所覆蓋的信道層的部分區域上方。

由于本發明的主動元件具有穿透率低于或等于70％的富硅氧化物保護層，因此本發明的主動元件具有較佳的電氣特性。

為讓本發明的上述和其它目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

圖1為本發明第一實施例的電泳顯示器的剖面示意圖；

圖2為本發明第二實施例的電泳顯示器的剖面示意圖；

圖3為本發明第三實施例的電泳顯示器的剖面示意圖；

圖4為本發明第四實施例的電泳顯示器的剖面示意圖；

圖5A為富硅氧化物保護層的波長-穿透率關系圖；

圖5B中的二關系曲線分別為具有富硅氧化物保護層的電泳顯示器與不具有富硅氧化物保護層的電泳顯示器的波長-穿透率關系曲線。

其中，附圖標記

具體實施方式