[發明專利]主動元件及具有此主動元件的電泳顯示器

有效

• 申請號: 201110215424.6
• 申請日: 2011-07-25
• 公開（公告）號: CN102263135A
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 丘兆仟;李明賢;彭佳添
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;G02F1/167
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;王穎

1.一種主動元件，其特征在于，包括：

一柵極；

一通道層；

一柵絕緣層，配置于該柵極與該通道層之間；

一源極；

一漏極，該源極與該漏極分別與該通道層接觸，且該信道層的部分區域未被該源極與該漏極所覆蓋；以及

一富硅氧化物保護層，其中該通道層位于該富硅氧化物保護層與該柵極之間，而該富硅氧化物保護層至少遮蔽未被該源極與該漏極所覆蓋的該信道層的部分區域，且該富硅氧化物保護層的穿透率低于或等于70％。

2.根據權利要求1所述的主動元件，其特征在于，還包括一無機保護層，配置于該富硅氧化物保護層與該通道層之間。

3.根據權利要求2所述的主動元件，其特征在于，還包括一有機保護層，配置于該富硅氧化物保護層上。

4.根據權利要求1所述的主動元件，其特征在于，還包括一有機保護層，配置于該富硅氧化物保護層上。

5.根據權利要求1所述的主動元件，其特征在于，其中該富硅氧化物保護層的厚度介于1000埃至6000埃之間。

6.根據權利要求1所述的主動元件，其特征在于，其中該富硅氧化物保護層僅分布于未被該源極與該漏極所覆蓋的該信道層的部分區域上方。

7.一種電泳顯示器，其特征在于，包括：

一主動元件陣列基板，具有多個根據權利要求1所述的主動元件以及多個像素電極，其中各該主動元件分別與這些像素電極其中之一電性連接；以及

一電泳顯示薄膜，配置于該主動元件陣列基板上。

8.根據權利要求7所述的電泳顯示器，其特征在于，其中該主動元件還包括一無機保護層，配置于該富硅氧化物保護層與該通道層之間。

9.根據權利要求8所述的電泳顯示器，其特征在于，其中該主動元件還包括一有機保護層，配置于該富硅氧化物保護層上。

10.根據權利要求7所述的電泳顯示器，其特征在于，其中該主動元件還包括一有機保護層，配置于該富硅氧化物保護層上。

11.根據權利要求7所述的電泳顯示器，其特征在于，其中該富硅氧化物保護層的厚度介于1000埃至6000埃之間。

12.根據權利要求7所述的電泳顯示器，其特征在于，其中該富硅氧化物保護層僅分布于未被該源極與該漏極所覆蓋的該信道層的部分區域上方。