[發明專利]用于制造觸摸傳感器面板的方法

有效

• 申請號: 201110214648.5
• 申請日: 2011-07-29
• 公開（公告）號: CN102346593A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 黃麗麗;S·莫哈帕特拉;仲正中
• 申請（專利權）人: 蘋果公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張陽

發明領域

本發明主要涉及觸摸傳感器面板的制造，尤其涉及使用一種在光刻/蝕刻圖案化處理過程中充當掩模并且在后續的鈍化處理過程中充當鈍化層的抗蝕劑(resist)來改進觸摸傳感器面板制造工藝的系統和方法。

背景技術

近年來，觸摸傳感器面板、觸摸屏以及類似設備已經可被用作輸入設備。特別地，由于觸摸屏操作的簡易性和多功能性及其價格的降低，其正在日益得到普及。觸摸屏可以包括觸摸傳感器面板和顯示設備，其中觸摸傳感器面板可以是具有觸敏表面的透明面板，顯示設備可以是LCD面板，并且可以部分或完全位于觸摸傳感器面板的后方，以使觸敏表面可以覆蓋顯示設備可見區域的至少一部分。在一些設備中，觸摸屏由蓋體玻璃保護。觸摸屏可以允許用戶通過使用手指、指示筆或其他物體在顯示設備顯示的用戶界面(UI)通常規定的位置處觸摸所述觸摸傳感器面板來執行各種功能。通常，觸摸屏可以識別觸摸事件以及該觸摸事件在觸摸傳感器面板上的定位，并且計算系統隨后可以根據觸摸事件時刻出現的顯示來解釋觸摸事件，之后則可以基于觸摸事件來執行一個或多個動作。

與LCD面板相似，觸摸屏中的觸摸傳感器面板可由玻璃或其他適當的透明基底制成。在一些配置中，觸摸傳感器面板可被實現為由多條驅動線(例如，行)和多條感測線(例如，列)交叉形成的像素陣列，其中驅動線和感測線由介電材料分隔開。在一些觸摸傳感器面板中，驅動線和感測線可以在同一透明基底的頂側和底側上形成。在其他觸摸傳感器面板中，驅動線和感測線可以在透明基底的一側上形成。所述感測線和驅動線可以由基本透明的材料例如氧化銦錫(ITO)形成，但是也可以使用其他材料。可以在透明基底的一側或兩側沉積一個或多個ITO層。在本文中，具有雙側或單側ITO層的觸摸傳感器面板分別被稱為雙側ITO(DITO)觸摸傳感器面板和單側ITO(SITO)觸摸傳感器面板。DITO和SITO觸摸傳感器面板被廣泛由于各式各樣的電子設備中，例如平板PC、數字音樂播放器、蜂窩電話以及其他無線手持設備。

制造觸摸傳感器面板的現有方法需要在光刻/蝕刻圖案化處理和后續的鈍化處理過程中執行多個印制步驟。傳統的光刻/蝕刻處理由于設備和材料成本很高因而是昂貴的。由此，如果能夠減少制造工藝中的印制步驟的數量，從而降低觸摸傳感器面板的總制造成本，那么將會是非常理想的。

發明內容

本發明涉及用于制造觸摸傳感器面板的方法。在一些觸摸傳感器面板制造工藝中，在光刻/蝕刻圖案化處理過程中向面板應用光致抗蝕劑(photoresist)。在完成光刻/蝕刻圖案化處理之后，所述光致抗蝕劑將被剝離。隨后在后續鈍化處理中應用單獨的鈍化層。由此，整個制造工藝冗長且低效。由于執行了多次的印制和蝕刻步驟，設備和材料成本也相對較高。本公開的實施例試圖通過應用一種能夠在蝕刻處理過程中充當掩模并在蝕刻處理之后繼續永久性地充當鈍化層的抗蝕劑來消除這些步驟中的一些步驟。這種改進的工藝可以消除現有制造工藝的多個步驟，并且可以降低設備和材料成本。

在本公開的一個實施例中，首先，可以在基底的一個或所有兩個表面上沉積ITO(或其他導電材料)層以及金屬層。接下來，執行光刻/蝕刻處理來圖案化ITO和金屬層，以便形成觸摸傳感器面板的驅動和感測元件，雖然在其他實施例中，可以使用除了光刻/蝕刻之外的其他處理來移除圖案。前兩個步驟可以與現有制造工藝中的步驟相同。然后，可以在觸摸傳感器面板的邊緣區域之上放置抗蝕/鈍化材料，以便在后續的光刻/蝕刻處理過程中保護該區域內的金屬圖案。這種抗蝕/鈍化材料與通常使用的光致抗蝕劑的不同之處在于：這種具體的材料不但可以在光刻/蝕刻過程中充當掩模，還可以在鈍化過程中充當鈍化層。在將這種雙用途材料放置就位之后，可以執行第二光刻/蝕刻處理，以便從面板的觀看區域移除金屬，雖然在其他實施例中也可以使用光刻/蝕刻之外的其他處理來移除金屬。由于同一材料還可以充當鈍化層，因此，可以在不需要首先移除光致抗蝕劑以及在邊緣區域或是整個表面之上放置鈍化層的情況下執行鈍化處理。

總之，本公開的實施例可以減少觸摸傳感器面板制造工藝中需要的步驟數。更重要的是，通過使用單一材料作為光刻/蝕刻處理過程中的光致抗蝕劑掩模以及鈍化過程中的鈍化層，可以降低與制造工藝中的印制處理以及移除額外材料的處理相關聯的材料成本和操作成本。結果，整個制造工藝可以更為有效，并且包含觸摸傳感器面板的成品設備的總成本可以降低。

附圖說明

圖1示出了觸摸傳感器面板的示例性堆疊結構。

圖2-5提供了現有觸摸傳感器面板制造工藝的示例性步驟的逐步驟例示。