[發明專利]微影投射設備、氣體洗滌方法、裝置制造方法及洗滌氣體的供應系統

無效

• 申請號: 201110211100.5
• 申請日: 2007-03-28
• 公開（公告）號: CN102298270A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 羅瑟·J.·霍姆斯;約翰·E.·皮萊恩
• 申請（專利權）人: 恩特格林斯公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種設備，其包括：

一洗滌氣體混合物產生器，該洗滌氣體混合物產生器包括一蒸發器，該蒸發器被建構來將一可蒸發液體加入到一洗滌氣體中，以產生一洗滌氣體混合物，其中，該蒸發器包括一含有一洗滌氣體流的第一區域及一含有該可蒸發液體的第二區域，其中該第一區域與第二區域是由一薄膜接觸器所隔開，該蒸發器進一步包含一洗滌氣體混合物出口；

一溫度調節系統，該溫度調節系統將該蒸發器的溫度、該洗滌氣體混合物出口的溫度或上述這些的組合的溫度維持在一個或更多的設定點范圍內；以及

一壓力調節系統，該壓力調節系統維持可蒸發液體與洗滌氣體的壓力，以防止在該薄膜接觸器中在該可蒸發液體中形成洗滌氣體的氣泡。

2.一種設備，其包括：

一洗滌氣體混合物產生器，該洗滌氣體混合物產生器包括一蒸發器，該蒸發器被建構來將一可蒸發液體加入到一洗滌氣體中，以形成一洗滌氣體混合物，其中，該蒸發器包括一個含有一洗滌氣體流的第一區域及一含有該可蒸發液體的第二區域，其中該第一區域與第二區域是由一薄膜接觸器所隔開，該蒸發器進一步包含一洗滌氣體混合物出口；

一溫度調節系統，該溫度調節系統將該蒸發器的溫度、該洗滌氣體混合物出口的溫度或上述這些的組合的溫度維持在一個或更多的設定點范圍內；以及

一蒸氣濃度調節系統，其改變或維持洗滌氣體中的蒸氣的濃度。

3.如權利要求1或2所述的設備，其中，該溫度調節系統進一步包括一溫度控制器、一個加熱器、冷凝器或是上述的一組合。

4.如權利要求1或2所述的設備，其中，該壓力調節系統包括：一個壓力控制器與一個背壓調整器。

5.如權利要求1或2所述的設備，其中，該壓力調節系統將該可蒸發液體的壓力維持在大約5psi，或是較高于該洗滌氣體壓力。

6.如權利要求1或2所述的設備，其中，該溫度調節系統將該洗滌氣體混合物出口的溫度維持在高于凝結點。

7.如權利要求1或2所述的設備，其中，該溫度調節系統獨立于該洗滌氣體的流率而維持該洗滌氣體混合物的溫度。

8.如權利要求1或2所述的設備，其中，該薄膜接觸器包含一薄膜。

9.如權利要求1或2所述的設備，其中，該薄膜接觸器包含一薄膜，該薄膜包含一適合作為燃料電池加濕器的物質。

10.如權利要求9所述的設備，其中，該薄膜接觸器包含一離子聚合物。

11.如權利要求10所述的設備，其中，該薄膜接觸器包含一磺酸四氟乙烯聚合物。

12.如權利要求1或2所述的設備，其中，該洗滌氣體混合物具有小于1ppb的會劣化在一微影投射系統中光學元件的光學特性的污染物。

13.如權利要求2所述的設備，其中，該溫度調節系統進一步包括一熱交換器或溫控環境，或是其組合。

14.如權利要求2所述的設備，其中，該蒸氣濃度調節系統包括一蒸氣傳感器。

15.如權利要求14所述的設備，其中，該蒸氣濃度調節系統包括一控制器，其接收蒸氣傳感器的輸出值，并且經由一質量流控制器修改洗滌氣體流量以修改或維持蒸氣的濃度。

16.如權利要求14所述的設備，其中，該蒸氣傳感器是一個濕氣傳感器。

17.一種方法，其包括：

利用一個溫度調節系統將一蒸發器的溫度、該蒸發器的一洗滌氣體入口的溫度或是上述的組合的溫度控制在一個或更多的設定點范圍內；

利用一個壓力調節系統控制被該蒸發器的一薄膜接觸器所隔開的一可蒸發液體與一洗滌氣體的壓力，以降低在該薄膜接觸器中的可蒸發液體中形成洗滌氣體氣泡；以及

將一洗滌氣體與在該蒸發器中的可蒸發液體相接觸，藉此產生洗滌氣體混合物，其中該蒸發器包括一個含有一洗滌氣體流的第一區域及一個含有該可蒸發液體的第二區域，其中該第一區域與第二區域是由該薄膜接觸器所隔開，該蒸發器進一步包含一洗滌氣體混合物出口。