[發明專利]功率裝置的耐壓終止結構有效
| 申請號： | 201110209154.8 | 申請日： | 2011-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN102751327A | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發明（設計）人： | 林永發;徐守一;吳孟韋;陳面國;詹景晴;石逸群 | 申請（專利權）人： | 茂達電子股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京市浩天知識產權代理事務所 11276 | 代理人： | 劉云貴 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 功率 裝置 耐壓 終止 結構 | ||
1.一種功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于包含有：
一第一導電型基底；
一第一導電型外延層，設置于所述的第一導電型基底上；
一溝槽，位于所述的第一導電型外延層中；
一第一絕緣層，位于所述的溝槽中；
一第一導電層，位于所述的溝槽中，且疊置于所述的第一絕緣層上；以及
一第二導電型基體摻雜區，位于所述的溝槽旁的所述的第一導電型外延層中，而且與所述的第一導電層直接接觸。
2.根據權利要求1所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，所述的第一導電層包含多晶硅、鈦、氮化鈦或鋁。
3.根據權利要求1所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，所述的第一導電層與所述的第一絕緣層直接接觸，而且所述的第一導電層的表面與所述的第一導電型外延層的表面切齊。
4.根據權利要求1所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，還包含有一場氧化層，覆蓋住所述的第一導電層和所述的第二導電型基體摻雜區。
5.根據權利要求4所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，還包含有第二導電層，置于所述的場氧化層上。
6.根據權利要求5所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，還包含有第二絕緣層，覆蓋住所述的場氧化層和所述的第二導電層。
7.根據權利要求6所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，還包?含有柵極導線，位于所述的第二絕緣層上，和第一接觸插塞，置于所述的第二絕緣層中，電連接所述的第二導電層與所述的柵極導線。
8.根據權利要求1所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，所述的第一絕緣層與所述的第一導電型基底直接接觸。
9.根據權利要求8所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，所述的第二導電型基體摻雜區與所述的第一導電型基底互相連接。
10.根據權利要求1所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，所述的第一導電型為N型，所述的第二導電型為P型。
11.根據權利要求7所述的功率裝置的耐壓終端結構，其特征在于，還包含有第二導電型離子井，設置于所述的第一導電型外延層中。?
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