[發明專利]激光加工方法及使用了該加工方法的半導體裝置

有效

• 申請號: 201110206805.8
• 申請日: 2011-07-22
• 公開（公告）號: CN102407704A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 長谷川豐;白石正章
• 申請（專利權）人: 安森美半導體貿易公司
• 主分類號: B41M5/00
• 分類號: B41M5/00;B41J2/44
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 岳雪蘭

技術領域

本發明涉及通過對加工對象物照射激光而在該加工對象物表面進行印刷等的激光加工方法及使用了該加工方法的半導體裝置。

背景技術

作為以往的使用了激光的印刷方法的一實施例，公知有下述的激光加工方法。

如圖6(A)所示，例如，對印刷英文字母“A”的情況進行說明。印刷裝置的信息轉換部對被輸入到印刷信息輸入部的各種數據進行運算，并轉換成進行印刷的數據。具體地，將附圖標記41所示的印刷數據(面數據)如附圖標記42所示地轉換成更細微的多個橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)。

在圖6(B)中，圖示了橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)的一部分。對附圖標記43～46所示的橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)而言，例如是在白色區域中關閉激光而在黑色區域中打開激光這樣的數據。而且，在印刷裝置中，控制激光光源部等，基于從紙面上方部到下方部的全部橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)，進行激光加工，在加工對象物的表面印刷英文字母“A”(例如，參照專利文獻1)。

另外，公知有在收納有半導體集成電路的由塑料、陶瓷或樹脂等構成的封裝表面通過激光進行印刷的方法(例如，參照專利文獻2)。

專利文獻1：日本特開平5-162441號公報(第2-3頁，圖1、圖3)

專利文獻2：日本特開平9-220686號公報(第2-4頁，圖1、圖7)

如前所述，在以往的激光加工方法中，因組合多個橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)來印刷例如英文字母“A”，故橫線數據的數量增多。尤其是，英文字母或數字等印刷文字等通常被設計成縱長形狀。由此，在以往的激光加工方法中，橫線數據的數量不可避免地增多，難以縮短印刷時間，從而存在激光印刷的作業效率變差的問題。

另外，以往的激光加工是從一條橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)的左端部朝向右端部進行加工。而且，基于一條橫線數據完成激光加工后，同樣地，從位于下方的下一條橫線數據的左端部朝向右端部進行激光加工。也就是說，在以往的激光加工方法中，橫線數據間的非印刷時的激光光源部的移動距離變長。根據該激光加工方法，也存在難以縮短印刷時間的問題。

另外，如圖6(B)所示，對于附圖標記43～46所示的橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)而言，黑色區域為打開激光這樣的數據，白色區域為關閉激光這樣的數據。如圖所示，可知在英文字母“A”的“倒V字”的區域中，橫線數據的大部分的區域是白色區域，非印刷時間長。根據該激光加工方法，也存在難以縮短印刷時間的問題。

另外，圖6(C)表示圖6(A)的圓形標記47所示的區域中的激光加工狀況。如前所述，英文字母“A”通過基于多個橫線數據(紙面橫向的掃描線數據)的激光加工的組合來進行印刷。因此，在英文字母“A”的“倒V字”的區域中，如圖6(B)所示，激光加工的開始位置逐漸向外側偏移，故英文字母“A”的輪廓被激光加工成階梯形狀。而且，因英文字母“A”的輪廓沒有成為平滑的形狀，故存在其視覺效果變差的問題。另外，在該印刷的文字等用于圖案識別的情況下，因其輪廓形狀，故也存在文字識別精度變差的情況。尤其是，在被印刷的文字的輪廓中具有曲線的情況下，存在該曲線難以形成為平滑的形狀的問題。

另外，收納有半導體集成電路的封裝被安裝在便攜式電話、數碼相機等的便攜式電子設備內。而且，因當今的便攜式電子設備等的薄型化而要求所安裝的封裝自身的薄型化。而且，封裝的厚度自身已經沒有薄型化的余地，若向封裝表面進行激光加工的加工深度過深，則會導致金屬細線從印刷位置露出而能透過印刷位置看到金屬細線，從而存在該封裝被作為次品處理的問題。

而且，由于在封裝表面印刷有公司的標識和產品序號等，因此，印刷的文字等被設計成具有多種線寬。由此，在利用具有一定寬度的激光進行加工的一筆寫成方式中，不能通過一次激光加工來印刷前述的公司的標識和產品序號等。因此，為印刷前述的公司的標識和產品序號等，需要進行多次激光加工。此時，在激光加工線彼此交叉的情況下，該交叉區域的加工深度過深，存在前述的產生封裝不良的問題。

發明內容

本發明是鑒于前述各情況而研發的，在本發明的激光加工方法中，向加工對象物照射激光，以便在所述加工對象物上至少印刷(印字)文字或數字，所述激光加工方法的特征在于，在所述印刷的文字或數字的加工區域中，設定多條加工線，所述加工線是沿著所述印刷的文字或數字的外側輪廓的加工線的方向，且朝向所述加工區域的長度方向設定。