[發(fā)明專利]去離子棒

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110206428.8
• 申請日: 2011-07-22
• 公開（公告）號(hào): CN102427018B
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱駿;張旭昇;邱慈云
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種去離子棒，尤其是一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的去離子棒裝置。

背景技術(shù)

去離子棒可產(chǎn)生大量的帶有正負(fù)電荷的氣團(tuán)，可以將經(jīng)過它離子輻射區(qū)內(nèi)的物體上所帶有的電荷中和掉。當(dāng)物體表面所帶為負(fù)電荷時(shí)，它會(huì)吸引輻射區(qū)內(nèi)的正電荷，當(dāng)物體表面所帶為正電荷時(shí)，它會(huì)吸引輻射區(qū)內(nèi)的負(fù)電荷，從而使物體表面上的靜電被中和，達(dá)到消除靜電的目的。半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中廣泛的使用去離子棒對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行去離子，為實(shí)現(xiàn)去離子的效果，通常去離子棒在凈化間內(nèi)需要均勻布局且擺放高度為2.8米左右，但是由于半導(dǎo)體設(shè)備不斷向更為高大發(fā)展，目前甚至有設(shè)備高度超過3米，導(dǎo)致去離子棒會(huì)和設(shè)備相撞，為設(shè)備搬運(yùn)、安裝、維護(hù)帶來諸多不便。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有的去離子棒所存在的上述問題，本發(fā)明提供一種可伸縮的去離子棒。

本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：

一種去離子棒，包括桿狀本體和支架，所述桿狀本體與所述支架連接，所述桿狀本體與地面垂直，其中，還包括垂直升降裝置，所述垂直升降裝置與所述支架連接。

上述去離子棒，其中，所述桿狀本體與所述支架之間有連接部件，所述連接部件為橫向移動(dòng)裝置。

上述去離子棒，其中，所述桿狀本體由多節(jié)組成，所述桿狀本體內(nèi)置伸縮裝置。

上述去離子棒，其中，所述支架包括一對(duì)縱桿和一條橫桿，所述一對(duì)縱桿一端垂直連接于屋頂，另一端與所述橫桿連接，所述橫桿與地面平行，所述一對(duì)縱桿與所述橫桿之間有連接部件，所述連接部件為垂直升降裝置。

上述去離子棒，其中，所述桿狀本體一端與所述橫桿連接，且垂直于所述橫桿，所述桿狀本體與所述橫桿之間有連接部件，所述連接部件為橫向移動(dòng)裝置。

上述去離子棒，其中，所述垂直升降裝置為一對(duì)升降馬達(dá)。

上述去離子棒，其中，所述橫向移動(dòng)裝置為橫向移動(dòng)馬達(dá)。

上述去離子棒，其中，所述伸縮裝置為伸縮馬達(dá)。

上述去離子棒，其中，所述桿狀本體有多條，所述多條桿狀本體以一定橫向間隔與所述支架連接。

本發(fā)明的有益效果是：

可根據(jù)實(shí)際需求靈活調(diào)動(dòng)去離子棒高度和位置。解決了由于半導(dǎo)體設(shè)備自身高度接近乃至高于去離子棒擺放高度時(shí)產(chǎn)生的設(shè)備搬運(yùn)、安裝、維護(hù)帶來的諸多不便。

附圖說明

圖1是本發(fā)明去離子棒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明去離子棒半導(dǎo)體設(shè)備搬入時(shí)的狀態(tài)圖；

圖3是本發(fā)明無離子棒半導(dǎo)體設(shè)備安裝時(shí)的狀態(tài)圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不作為本發(fā)明的限定。

如圖1、圖2和圖3所示，本發(fā)明去離子棒包括桿狀本體1和支架2，桿狀本體1與支架2連接，桿狀本體1與地面垂直，其中，還包括垂直升降裝置3，垂直升降裝置3與支架2連接。本發(fā)明去離子棒使用時(shí)安裝于進(jìn)化間內(nèi)，當(dāng)有高度較高的半導(dǎo)體設(shè)備6進(jìn)入凈化間時(shí)，通過調(diào)整支架2上的垂直升降裝置3，使支架2升高，進(jìn)而使連接于支架2上的桿狀本體1升高，以避免桿狀本1與較高的半導(dǎo)體設(shè)備碰撞，當(dāng)進(jìn)入凈化間的半導(dǎo)體設(shè)備6高度較低時(shí)，通過調(diào)整支架2上的垂直升降裝置3，使支架2下降，進(jìn)而是連接于支架2上的桿狀本體1下降，以調(diào)整輻射區(qū)的范圍，從而獲得更好的去離子效果。

進(jìn)一步的，桿狀本體1有多條，多條桿狀本體1以一定橫向間隔與支架2連接。設(shè)置多條桿狀本體1可以使去離子棒的輻射范圍均勻分布。

進(jìn)一步的，桿狀本體1與支架2之間有連接部件4，連接部件4為橫向移動(dòng)裝置。桿狀本體1與支架2之間設(shè)置橫向移動(dòng)裝置可以調(diào)節(jié)桿狀本體1的橫向位置以適應(yīng)不同橫向尺寸的半導(dǎo)體設(shè)備6。

進(jìn)一步的，桿狀本體1由多節(jié)組成，所述桿狀本體內(nèi)置伸縮裝置5。當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備的高度超出支架2上的垂直升降裝置3的調(diào)節(jié)范圍時(shí)，通過收縮桿狀本體1可以獲得額外的高度空間，且在多條桿狀本體1的場合可以通過將各條桿狀本體1伸縮成不同的長度來適應(yīng)頂部有高度落差的半導(dǎo)體設(shè)備6，也可以利用伸縮成不同長度的多條桿狀本體1營造需要的輻射區(qū)范圍。

進(jìn)一步的，支架2包括一對(duì)縱桿21、22和一條橫桿23，一對(duì)縱桿21、22一端垂直連接于屋頂，另一端與橫桿23連接，橫桿23與地面平行，一對(duì)縱桿21、22與橫桿23之間有連接部件，連接部件為垂直升降裝置3。此種結(jié)構(gòu)的支架不占用地面空間，可以使凈化間地面空間利用率提高。