[發明專利]去離子棒

有效

• 申請號: 201110206428.8
• 申請日: 2011-07-22
• 公開（公告）號: CN102427018B
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 朱駿;張旭昇;邱慈云
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種去離子棒，包括桿狀本體和支架，所述桿狀本體與所述支架連接， 所述桿狀本體與地面垂直，其特征在于，還包括垂直升降裝置，所述垂直升 降裝置與所述支架連接；

其中，所述桿狀本體與所述支架之間有連接部件，所述連接部件為橫向 移動裝置；所述桿狀本體由多節組成，所述桿狀本體內置伸縮裝置；所述支 架包括一對縱桿和一條橫桿，所述一對縱桿一端垂直連接于屋頂，另一端與 所述橫桿連接，所述橫桿與地面平行，所述一對縱桿與所述橫桿之間有連接 部件，所述連接部件為垂直升降裝置；所述桿狀本體一端與所述橫桿連接， 且垂直于所述橫桿，所述桿狀本體與所述橫桿之間有連接部件，所述連接部 件為橫向移動裝置。

2.如權利要求1所述去離子棒，其特征在于，所述垂直升降裝置為一對 升降馬達。

3.如權利要求1所述去離子棒，其特征在于，所述橫向移動裝置為橫向 移動馬達。

4.如權利要求1所述去離子棒，其特征在于，所述伸縮裝置為伸縮馬達。

5.如權利要求1-4中任一所述去離子棒，其特征在于，所述桿狀本體有 多條，所述多條桿狀本體以一定橫向間隔與所述支架連接。