[發明專利]光電探測器校準裝置及其校準方法

有效

• 申請號: 201110204041.9
• 申請日: 2011-07-20
• 公開（公告）號: CN102890423A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 宋平;馬明英
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01J1/42
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種光電探測器校準裝置，其特征在于，包括

分光棱鏡，位于所述光電探測器上方，所述光電探測器位于工件臺上，照明光通過所述分光棱鏡分為第一測量光和第二測量光；

絕對探測器，位于所述分光棱鏡一側，所述第二測量光入射到所述絕對探測器，所述第一測量光入射到所述光電探測器；以及

處理單元，用于對所述絕對探測器測得的第二測量光光強和所述光電探測器測得的第一測量光光強進行計算，建立所述光電探測器和所述絕對探測器的關系，校準所述光電探測器的增益和偏置。

2.根據權利要求1所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，水平向控制器控制所述分光棱鏡沿水平向移動。

3.根據權利要求2所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，執行曝光校準時，所述水平向控制器通過可伸縮線纜驅動所述分光棱鏡位于所述光電探測器正上方。

4.根據權利要求1所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，垂向控制器控制所述絕對探測器沿垂向移動。

5.根據權利要求4所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，執行曝光校準時，所述垂向控制器控制所述絕對探測器位于垂向最佳焦平面上。

6.根據權利要求4或5所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，所述垂向控制器通過伸縮器驅動所述絕對探測器沿垂直方向運動。

7.根據權利要求1所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，照明光通過所述分光棱鏡分為50％光強的透射光和50％光強的反射光。

8.根據權利要求1所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，所述第一測量光為透射光，所述第二測量光為反射光。

9.根據權利要求1所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，還包括位于所述分光棱鏡上方的光束轉換晶體，所述照明光通過所述光束轉換晶體后入射到所述分光棱鏡。

10.根據權利要求9所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，所述照明光為深紫外線光，通過所述光束轉換晶體轉換為可見光。

11.根據權利要求10所述的光電探測器校準裝置，其特征在于，所述光束轉換晶體為YAG:CE晶體。

12.一種光電探測器校準方法，其特征在于，包括

照明光通過分光棱鏡分為第一測量光和第二測量光；

所述第二測量光入射到絕對探測器，所述第一測量光入射到光電探測器；

對絕對探測器測得的第二測量光光強和光電探測器測得的第一測量光光強進行計算，建立所述光電探測器和所述絕對探測器的關系，校準所述光電探測器的增益和偏置。

13.根據權利要求12所述的光電探測器校準方法，其特征在于，還包括，水平向控制器控制所述分光棱鏡沿水平向移動位于所述光電探測器正上方。

14.根據權利要求12或13所述的光電探測器校準方法，其特征在于，垂向控制器控制所述絕對探測器沿垂向移動位于垂向最佳焦平面上。

15.根據權利要求14所述的光電探測器校準方法，其特征在于，所述垂向最佳焦平面為所述絕對探測器讀數最大的位置。

16.根據權利要求12所述的光電探測器校準方法，其特征在于，所述照明光通過光束轉換晶體后再入射到所述分光棱鏡。

17.根據權利要去16所述的光電探測器校準方法，其特征在于，所述光束轉換晶體將深紫外線光轉換為可見光。

18.根據權利要求16所述的光電探測器校準方法，其特征在于，所述照明光通過光束轉換晶體后，入射到透鏡后平行出射到所述分光棱鏡。