[發明專利]用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物

無效

• 申請號: 201110202425.7
• 申請日: 2011-07-08
• 公開（公告）號: CN102314101A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 洪憲杓;尹嚆重;房淳洪;李承傭
• 申請（專利權）人: 東友FINE-CHEM股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;H01L21/00
• 代理公司: 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220
• 代理人: 鄭立;高為華

技術領域

本發明涉及一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，更具體地，涉及一種能夠在半導體裝置或者液晶顯示器裝置的制造工藝中有效地從基板上除去聚酰亞胺膜的清洗劑組合物。

背景技術

通常，由于與中性清洗劑相比，堿性清洗劑具有除去有機物質、無機物質，粒子和類似物的優異能力，已經被廣泛應用于電子部件、金屬部件、陶瓷部件和類似部件的生產中。但是，由于堿性清洗劑容易腐蝕諸如鋁和類似物之類的有色金屬，所以實際上不能被用來清洗含鋁的電子部件。

比如，目前，電子部件，特別是，液晶板的聚酰亞胺取向膜已經是水平取向的聚酰亞胺膜了。但是，由于對具有寬視角的液晶板的需求已增加，垂直取向的聚酰亞胺膜正越來越多地被使用。在玻璃基板被水平取向的聚酰亞胺膜涂布的情況下，如果水平取向的聚酰亞胺膜具有半可塑性(通過在80℃除去溶劑獲得的半硬化膜)，在其被完全塑化(塑化溫度：約180℃)之前，能夠通過使用N-甲基吡咯烷酮作為溶劑從玻璃基板上將差的水平取向聚酰亞胺膜分離，而不腐蝕鋁薄膜(布線)。但是，在玻璃基板被垂直取向的聚酰亞胺膜涂布的情況下，即使垂直取向的聚酰亞胺膜(具有半可塑性)具有半可塑性，也不能通過使用溶劑將其從玻璃基板上分離，因此這種聚酰亞胺取向膜的分離是使用堿性清洗劑進行的(參見JP-H06-306661)。

但是，當使用堿性清洗劑時，由于玻璃基板的鋁薄膜(布線)會被腐蝕，通過使用蠟保護鋁薄膜，清洗，然后用烴類溶劑除去蠟，或者通過完全分離和融化鋁薄膜和聚酰亞胺取向膜使玻璃基板恢復原狀，由此導致原材料的浪費和生產效率的下降。

同時，KR-A-2005-0094409公開了包括強堿，氧化劑和極性溶劑的清洗劑組合物，其能夠有效地除去光致抗蝕劑殘余物而不損壞ILD材料。但是，這種清洗劑組合物是有問題的，其在室溫下不能除去聚酰亞胺，不能充分阻止鋁薄膜(布線)被腐蝕，和當這種清洗劑組合物被長期使用時，過碳酸鹽，過硫酸鹽或類似物會沉淀。

發明內容

因此，為了解決上述提及的問題想出了本發明，本發明的目的是提供一種除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，其即使在室溫下，也能夠輕易地除去聚酰亞胺，其能夠有效地防止鋁線和鋁合金線被腐蝕，和即使當該清洗劑組合物被長期使用時，其也不引起沉淀的問題。

本發明的一個方面提供一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，包括，基于所述組合物的總量，0.1～10wt％的由下列分子式1表示的氫氧化季銨；50～90wt％的乙二醇醚化合物；7～30wt％的丙三醇；和剩余的水：

[N-(R)₄]⁺·OH^-??----分子式1

其中R是碳原子為1至5的烷基。

本發明的另一個方面提供了一種制造用于液晶顯示器的陣列基板的方法，包括使用清洗劑組合物清洗基板的工藝。

附圖說明

由結合附圖的以下的詳細說明將更清楚地理解本發明的以上和其他的目的，特征和優點，其中：

圖1是顯示了使用本發明的實例1的清洗劑組合物除去聚酰亞胺的結果的照片。

具體實施方式

在下文中，根據附圖對本發明的優選的實施方式進行詳細地說明。

本發明提供了一種用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物，包括：基于組合物的總量，(A)0.1～10wt％的由下列分子式1表示的氫氧化季銨；(B)50～90wt％的乙二醇醚化合物；(C)7～30wt％的丙三醇；和(D)剩余的水；

[N-(R)₄]⁺·OH^-??----分子式1

其中R是碳原子為1至5的烷基。

在下文中，將詳細說明根據本發明的用于除去聚酰亞胺的清洗劑組合物的成分。

(A)氫氧化季銨

本發明中使用的氫氧化季銨可以是由下列分子式1表示的化合物：

[N-(R)₄]⁺·OH^-??----分子式1

其中R是碳原子為1至5的烷基。

在分子式1中，烷基可以是直鏈烷基，支鏈烷基或者環烷基，優選直鏈烷基。

由以上分子式1表示的氫氧化季銨的具體實例可以包括氫氧化四甲銨，氫氧化四乙銨，氫氧化四丙銨，氫氧化四丁銨，和類似物。在這些實例中，氫氧化四甲銨(在下文中，稱之為“TMAH”)是優選的。

在本發明的清洗劑組合物中，氫氧化季銨可以單獨，或者兩種或以上結合使用。